扩散泵原理和注意事项

扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。

扩散泵原理

在机械真空泵导致预真空1 又10 一ZmrnHg 的条件下，真空扩散泵内的油用电炉开始加热而使得蒸气流形成，沿着中部泵囱上升，从顶端和中部的各级喷口处喷出，气体分子在蒸气流的带动下往泵的下端传送。冷却的油蒸气又凝结为液体向着泵底回流继续工作，气体分子在泵下端集结，直到密度一定时，就会由机械真空泵抽出，会不断减少容器内的气体分子，慢慢地使高真空形成。

扩散泵注意事项

蒸气源不可以使用汞来将油替代掉，由于汞分子比油分子小15倍，其具有较为宽大的喷口，对于汞蒸气工作条件不合适。在进行清洗时，如果无水乙醇、丙酮之类被使用来作为脱水剂，必须先将扩散泵抽气，只有抽尽在泵内有机溶液残留的气体分子才可以进行焊接，不然，此类残存的有机溶液，可能给会导致燃烧，造成仪器包扎损坏。在进行使用的时候，微米防止真空度的获得受到漏气的影响，必须先进行检漏，为了防止泵芯震坏，在清洗或搬动时禁止强烈振荡。在进行加热操作时，不可以在加热槽上溅到冷却水，不然会导致炸裂。