扩散泵工作原理

扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一，通常指油扩散泵。扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵作为前级泵。油扩散泵是利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕，抽速范围为几十至十几万升/秒（1升=10-3米3）。油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。

扩散泵工作原理

油扩散泵是利用喷嘴中高速喷出的油蒸气喷流的动量来对气体进行输运的真空泵。其在此种意义上应当被叫做蒸气喷流泵，但是发明人盖却对气体向蒸气流扩散混入的过程进行强调，而将其命名为扩散泵，一直到现在都使用该名称。使用水银使蒸气形成的，被称为水银扩散泵，使用油使得蒸汽形成的被称为油扩散泵。由于水银不能够较为便利地进行操作并且会有害于人体，如今已经不太用了。

在真空中扩散泵油锅中的泵油加热到大概两百摄氏度的沸腾温度，大量的油蒸气由此产生。油蒸气通过导流管经过各级喷嘴定向高速喷出。因为扩散泵进气口周围被抽气体的分压力比蒸气流中该气体的分压力要高，因此被抽气体分子就往蒸气流中持续地进行扩散。油蒸气向着被抽气体分子撞击，沿蒸气流束的方向，被抽气体分子高速地进行运动。