真空等离子清洗通过低压辉光放电产生等离子体(电子、离子、自由基混合态),利用物理溅射(离子轰击)和化学刻蚀(自由基反应)实现表面清洁、活化改性,全程无湿法污染,是实验室/工业领域表面预处理的核心技术。
塑料与金属的参数差异,本质源于表面化学组成、物理特性的天差地别:
塑料处理的核心是“活化优先,防损伤为主”,需避免过度刻蚀导致表面熔融或粗糙化。
推荐0.1-0.5Torr,此范围等离子体分布均匀,无局部放电导致的“热点”损伤。
金属处理的核心是“彻底清洁氧化层,增强表面活性”,需足够能量实现离子溅射。
| 材料类型 | 典型材料 | 推荐气体组合 | 功率范围(W) | 处理时间(min) | 压力范围(Torr) | 核心注意事项 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 塑料 | PE、PP、PET | O₂(90%)+ Ar(10%) | 100-300 | 1-5 | 0.1-0.5 | 低功率防熔融,短时间防过度刻蚀 |
| 塑料 | PTFE、PVDF | Ar(80%)+ N₂(20%) | 150-250 | 2-6 | 0.2-0.4 | 避免O₂氧化氟基团,保留表面特性 |
| 金属 | Al、Al合金 | Ar(100%) | 300-600 | 5-12 | 0.05-0.2 | 辅助水冷防变形,确保氧化层清除 |
| 金属 | Cu、不锈钢 | Ar(90%)+ O₂(10%) | 400-800 | 8-15 | 0.08-0.3 | 少量O₂增强活性,防二次氧化 |
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