在晶圆制造材料的成本拆分中，抛光材料约占晶圆制造总成本的7%。抛光液、抛光垫等作为抛光工艺中的核心消耗品，对CeO2、SiO2、Al2O3、SiC、c-BN、金刚石等磨料及各类添加剂提出了更高要求。同时，随着蓝宝石、碳化硅、氮化镓、金刚石等新一代半导体材料的兴起，适用于硬脆材料的高端研磨抛光技术已成为全球研发的重点。
奥法美嘉将参展本次技术交流会议。
展会信息
会议时间：4月15 -16日
会议地址：河南 郑州 天地丽笙大酒店
奥法美嘉展位：C6展台，期待您的莅临。
关于奥法美嘉
AccuSizer A2000、A7000、A9000液体颗粒计数器具有高灵敏度，高分辨率，高达1024个数据通道等特点。在检测液体中的颗粒数量的同时精确测量颗粒的粒度及粒度分析，结合全新一代软件的强大分析功能，通过真实精细的分布结果，广泛服务于医药、半导体、精细化工、光电等领域。
Nicomp 3000系列纳米激光粒度仪采用动态光散射原理检测分析样品的粒度分布。基于多普勒电泳光散射原理检测ZETA电位。独有的0.9°步进型多角度模块和Nicomp? 多峰分布可分辨体积比1:2的多组分，可为客户提供精确的纳米颗粒粒度表征和粒度分布测试。
LUMiSizer 是一款稳定性分析仪，基于重力沉降法的原理，应用LUM（罗姆）的STEP技术（Space Time resolved Extinction Profiles, 空间时间消光图谱法）可快速、简单地量化乳液、胶体、悬浮液等液相分散体系的稳定性——沉降、上浮、熟化、聚结等行为，一次可同时测定12个样品，可以快速判定和量化其稳定性和效期。
LUMiSpoc 是一款单颗粒分析系统，它采用单粒子光散射技术（SPLS,Single Particle Light-Scattering），能精准测量悬浮液和乳液中纳米级和微米级颗粒的粒度分布与颗粒浓度(颗粒数量)，可以对40nm高浓度样品进行计数。
会议议程
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