技术融合：视芯光学T100国产共聚焦干涉仪

将共聚焦显微镜的层析成像能力与干涉仪的高垂直分辨率相结合，是表面测量技术的一个发展方向。视芯光学T100以此理念设计，可被视为一款国产共聚焦干涉仪，它尝试融合两种技术的长处，以应对更复杂的测量挑战。

从原理上看，干涉测量（特别是白光干涉）擅长于快速、高精度地获取表面的绝对高度信息，但对于粗糙度较大、侧壁陡峭或光学特性复杂的表面，有时会因信号衰减或相位跳变而遇到困难。共聚焦测量通过针孔共轭的物理滤波，能有效yi制杂散光，提升信噪比，尤其擅长测量高倾角表面，并提供出色的横向分辨能力。

T100在设计中考虑了这种互补性。在测量一些具有复杂几何形状的样品时，例如倾斜侧壁、深孔或高反射率/低反射率区域交织的表面，单一的测量模式可能难以获得完整可靠的数据。此时，T100允许用户根据样品不同区域的特征，选择或结合使用干涉和共聚焦模式进行测量，或者利用共聚焦模式先进行快速预扫描定位，再用干涉模式对关键区域进行精细测量，从而得到更全面、更可靠的三维形貌数据。

这种融合思路在一些前沿制造和研发领域有应用潜力。例如，在增材制造（3D打印）中，成型零件的表面通常具有复杂的自由曲面和微细结构，对其表面质量进行准确评估是工艺优化的重要环节。T100提供的多模式测量能力，可能为这类复杂表面的定量表征提供一种可行的技术途径。在微纳光学元件、复杂模具型腔的检测中，同样可能受益于这种多模式测量的灵活性。

视芯光学T100作为国产共聚焦干涉仪的探索，其价值在于通过硬件集成与软件算法，为用户提供了更多样化的测量策略选择，以适应不同样品的特性，提升测量数据的完备性和可靠性。