欧陆埃文思(Eurofins EAG)上海材料分析技术研讨会成功举办
2025年3月25日，欧陆埃文思（上海）材料技术有限公司在上海成功举办材料分析技术研讨会。会议邀请了半导体材料分析领域的行业专家、科研人员及企业代表，共同探讨最新技术进展与实际应用。
爱发科费恩斯（南京）仪器有限公司鞠焕鑫博士受邀参会，并作《X射线光电子能谱（XPS）及其应用》专题报告。报告从表界面研究的挑战切入，系统梳理了表面分析技术的特点与优势。鞠博士重点介绍了XPS技术的核心原理，强调其化学元素分析、化学态识别、表面灵敏度及半定量分析能力，并展示了在半导体失效分析中的XPS二次电子影像（SXI）精准定位结合微区小束斑检测的解决方案。通过实际案例分析，他进一步说明微区XPS对半导体器件失效研究的重要作用。针对XPS深度分析中离子刻蚀可能引发的化学态破坏问题，鞠博士特别介绍了爱发科费恩斯公司研发的Cr Kα硬X射线光电子能谱（HAXPES）技术。该技术可将分析深度扩展至30纳米，为半导体界面与埋层结构的无损深度分析提供新方法。报告后的互动环节中，听众围绕XPS技术积极提问，鞠博士逐一进行解答。
欧陆埃文思为此次材料分析技术研讨不仅安排了丰富的报告，还组织了参会者参观EAG材料分析实验室。现场展示了多台爱发科费恩斯公司的高端设备，包括X射线光电子能谱仪（XPS）、俄歇电子能谱仪（AES）及动态二次离子质谱仪（D-SIMS）。活动最后，主办方安排了交流酒会，与会者在轻松氛围中进一步探讨合作机遇。
关于Eurofins EAG
欧陆埃文思（Eurofins EAG）实验室在材料测试服务方面拥有超过40年的经验，致力于为客户提供优质的半导体分析服务。欧陆埃文思在半导体检测领域有着丰富的经验、知识储备和数据支持，以及全球最领先的技术装备与技术实力，为半导体设备、芯片、高纯材料等高精尖产品提供专业的测试及咨询服务。
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