随着半导体器件、量子器件和材料科学等领域的蓬勃发展，器件的尺寸变得越来越小、结构越来越复杂，与之相应的微纳尺度下的加工精度要求越来越高。聚焦离子束（FIB）系统已成为相关领域的研究中不可或缺的关键设备。截止到目前，可商购的FIB系统大都使用液态金属或惰性气体作为离子源，但是采用上述离子源的FIB系统在加工精度，加工速度，维护难度和使用费用等方面很难达到令人满意的平衡，因此两者并非FIB系统的理想离子源选择。
为了解决商用FIB系统中存在的上述问题，2020年，美国zeroK NanoTech公司运用曾获诺贝尔奖的激光冷却技术，推出了新一代高精度极低温铯离子源FIB系统——FIB: ZERO。该系统采用极低温铯离子源（Cs+ LoTIS），在很大程度上减少了离子的随机运动，使FIB：ZERO中的离子束斑与传统离子源产生的束斑相比具有更高的亮度，更小的尺寸，和更低的能量散失。因此，可以获得更清晰的成像、更高的加工精度和更少的样品损伤。同时，也显著降低了维护难度和使用成本。近日，Quantum Design China正式引进新一代高精度极低温铯离子源FIB系统，希望能够帮助我国科学家在半导体器件、量子器件和材料科学等领域有更深入的研究。
新品亮点
1. 更清晰的成像效果，更大的成像景深
2. 更明显的对比度
3. 更高的加工精度（相同时间）
4. 更好的加工均匀性（相同时间）
5. 对样品小的损伤范围
Stopping and Range of Ions in Matter（SRIM）模拟不同离子源产生的离子束在硅中的影响范围
| 传统气体离子源 | 传统液态金属离子源 | 新一代极低温铯离子源 |
 | ||
全部评论(0条)
相关产品推荐（★较多用户关注☆）
面内磁存储纵向克尔效应测量系统
报价：面议 已咨询 2612次
磁电阻随机存储器极向克尔效应测量系统
报价：面议 已咨询 2368次
DiskMapper H7
报价：面议 已咨询 2005次
微波等离子化学气相沉积系统
报价：€65000 已咨询 6621次
全自动跨膜电阻测量仪-NanoAnalytics
报价：€60000 已咨询 5554次
超低振动低温光学恒温器（无液氦）
报价：面议 已咨询 2843次
高精度光学浮区法单晶炉
报价：面议 已咨询 4315次
高速高分辨率成像激光拉曼显微镜
报价：面议 已咨询 2586次
你可能还想看
①本文由仪器网入驻的作者或注册的会员撰写并发布，观点仅代表作者本人，不代表仪器网立场。若内容侵犯到您的合法权益，请及时告诉,我们立即通知作者，并马上删除。
②凡本网注明"来源：仪器网"的所有作品，版权均属于仪器网，转载时须经本网同意，并请注明仪器网(www.yiqi.com)。
③本网转载并注明来源的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品来源，并自负版权等法律责任。
④若本站内容侵犯到您的合法权益，请及时告诉,我们马上修改或删除。邮箱：hezou_yiqi
热点资讯
近期话题
相关产品
在线留言
沪公网安备 31011502008050号
参与评论
登录后参与评论