高性能X射线荧光分析仪EA1000VX在ITO涂层测厚中的应用

　　手机、平板电脑在生活中使用频率很高，其显示屏的辐射影响人的眼睛健康。 ITO涂层是提高屏幕或保护膜的可见光通过率的同时阻止有害射线通过的高科技涂膜。

　　ITO膜的结构精细，在基体的两面先涂覆一层约0.1um的胶体，然后再进行ITO膜的涂覆。其中基体材料都是透明的材料，厚度100um左右。

　　若用传统的X射线荧光膜厚仪器测量ITO层的厚度，将出现以下困难：

　　1. 基体材料和ABHC层是不可元素。

　　2. 样品总厚度很薄，整体被穿透。

　　3. ITO层太薄，超出一般XRF检测下限。

　　4. 样品为双面涂覆，无法分辨层次信号。

　　EA1000VX元素分析仪

　　XRF是成熟而GX元素分析方法，因其快速和低成本而广泛使用于工业产品检测。

　　日立仪器的EA1000VX元素分析仪采用世界领xian的VOTEX荧光检测器，具有30万CPS计数率，对超薄镀层、涂层具有非常灵敏的信号检测能力。仪器标配有5mm光斑，可大大增加涂层信号的激发能力(一般膜厚仪只有0.2mm光斑)。

　　ITO涂层厚度测量

　　■ 机型：EA1000VX

　　■ 样品：某品牌护眼手机屏保膜

　　■ 测量方法：EA1000VX是从下向上照射，样品仓顶部有Al板作为背景补偿，解决样品穿透问题;利用EA1000VX高计数率和大光斑解决ITO太薄信号不足问题;利用FP法样品修正解决双面涂覆问题。

　　护眼手机屏保膜

　　EA1000VX测量ITO涂层

　　能谱峰背明显，超高信噪比

　　ITO涂层实测数据

重复30次测量数据与统计

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