纳米压痕仪iNano高精度台式纳米压痕仪

KLA公司全系列的力学测试产品均采用电磁驱动原理的加载力激发器， iNano台式纳米压痕仪。对纳米压痕物理模型和优线性特性的电磁力驱动原理的深刻理解，以及良好的灵敏度的三片式电容传感器的设计，保证全系列纳米力学产品在整个量程范围内均能得到高精准、高分辨的控制。50mN载荷范围，3nN加载精度，0.002nm位移精度。

• 快速准确的动态纳米压痕测试

• 电磁加载方式

• 快速准确的位移测量

• 超高框架刚度

• 热漂移 <0.05nm/s

主要功能

静态/动态纳米压痕：杨氏模量/硬度

连续刚度：高准度薄膜测试，杨氏模量/硬度，<100nm

DMA功能：橡胶等粘弹性材料存储模量/损耗系数

划痕测试

高温纳米压痕300℃

断裂韧性测试

横向加载，泊松比测试

3D/4D 杨氏模量/硬度mapping

•考虑到灵活性，iNano允许进行广泛的测试，包括但不限于频率特定实验，存储和损耗模量，模量和硬度（Oliver和Pharr）以及恒定应变率。

•电磁执行器用于Nanomechanics生产的所有系统，包括iNano。 这些执行器是坚固的线性装置，固有地解耦力和位移。 它们的大力为50 mN，分辨率为3 nN，超低噪声电流小于200 nN。

•iNano是时间常数为20微秒的商用纳米压痕仪，可同时满足大压痕行程50μm，噪声<0.1 nm，数字分辨率0.02 nm，漂移率<0.05nm / s的规格要求。

•为确保业内广泛，可靠的数据，iNano能够实现0.1 Hz至1 kHz的动态激励频率。

•样品台移动Z轴为25 mm，X为100 mm，Y轴为150 mm，可测试各种样品高度和大样品区。

•载荷框架刚度> 1,000,000 N / m

•尖端校准系统集成到软件中，可实现快速，准确和自动的尖端校准。

•可用的方法包含聚合物，薄膜和生物材料的提示，方法和标准

•可用划痕选项，大正常载荷为50 mN，大划痕距离为2.5 mm，大划痕速度为500μm/ s。

•可用的远程视频选件在iNano腔内提供两个不同的视角，除标准显微镜物镜外还配有USB摄像头。

使用可选的NanoBlitz拓扑和断层扫描软件对材料进行3D和4D映射。

应用

Nanomechanics致力于测试各种材料和器件，获得应用数据和结果，以下应用说明只是我们测试材料的很小一部分，如果您没有在列表中看到您所需的应用，请与我们联系。很有可能我们已经测试了一个类似的样本。

聚合物动态弹性性能的测试

描述像聚合物这样的粘弹性材料是阻尼和振动控制应用的关键。 纳米力学公司的核心技术可以将聚合物的动态量表征为应用频率的函数。此外，该测试可以在生产的零件上完成，并且不需要传统DMA测试设备的大体积和特定几何形状。

Dynamic Mechanical Analysis（DMA）of Polymers by Oscillatory Indention

脆性材料的压痕断裂韧性 

       脆性材料中抗裂纹扩展性的机械性能称为“断裂韧性”。 传统上，由于样品制备测量该性质可能是耗时且昂贵的。 使用立方角压头几何形状的压痕测试，通过提供快速结果和大数据集来增强统计数据，从而有助于测量裂缝。 此外，压痕可以提供关于裂纹初始载荷的信息，可用于比较不同的材料加工条件。 该技术也可以应用于硬涂层，因其没有标准的断裂韧性几何形状。

高温测试压头的尖端材料
Nanomechanics在钼支架上提供单晶碳化钨尖端，用于高温测试应用。 这些尖端的额定温度超过1000°C，可提供各种尖端几何形状。这些尖端还具有高导电性，因此适用于原位和环境实验。

聚合物的应变率灵敏度
聚合物的弹性形变通常表现出时间依赖性。此外，聚合物通常具有随时间变化的塑性变形，

即蠕变。 纳米力学公司的仪器完全能够通过应用应变率和测量施加的压力来表征聚合物和其他

材料的蠕变。 这些测试的信息对塑料加工中的成形性和挤出过程非常有用。

ISO 14577标准化硬度和弹性模量测试

来自Nanomechanics的iNano和iMicro纳米压痕仪符合ISO 14577标准化硬度测试。  作为参考，一些测量的压痕弹性模量对照图中右侧弹性模量的传统测量值绘制，适用于从聚合物到金属到刚性陶瓷的各种材料。

生物相容性材料的复合剪切模量 

本应用说明演示了iNano纳米压痕仪如何用于测试生物材料，并解释了此类测试所需的特硬件，程序和分析。 可食用明胶用于该演示，因为它具有与组织相当的性质，可容易获取并且制备方法是可控和可重复的。

循环压痕测试

除了作为深度函数的属性的动态测量之外，Nanomechanics还提供执行循环压痕测试的能力。 我们的优势是速度，精度和准确性。 图中所示的每个加载 - 卸载循环在4秒内完成，从而有效地测量弹性模量和硬度。

微球的纳米力学测试：颗粒压碎应用

微球在现代生活中有着无数的用途。 中空微球用于降低制造材料的密度。 在现代液相色谱中，分析物被迫通过填充有玻璃微球的柱，从而使分析物的组分基于它们可以通过柱的速度而分离。 在电子封装中，金属化聚合物微球被包装在一起以形成灵活，可靠的连接。 在这项工作中测试的玻璃微球被掺入油漆中以增强外观和耐擦伤性。 在所有这些应用中，了解微球的机械性质是设计的关键方面。 通过硬件和测程序的相对较小的变化，InForce 50成为一般的小型压缩测试系统。

薄膜：基板立弹性模量测量

了解薄膜的机械性能对于设计可靠的部件非常重要。 无论您是在硬质基材上使用软膜，还是在柔性基材上使用硬膜，Nanomechanics都拥有使用压痕测试，表征基材立弹性模量的测试方法。 此外，我们通过提供低于20nm厚度的数据在某些情况下小于10nm，推动薄膜测试的较为限。

CoorsTek TTZ氧化锆和单晶氧化铝的高速机械性能
    在这项工作中，我们使用标准化和先进的仪表压痕来测量两种常见技术陶瓷的机械性能：CoorsTek TTZ氧化锆和单晶氧化铝。 通过标准化压痕，我们测得TTZ的杨氏模量为249±9.7 GPa，维氏硬度为1600±65 kg / mm2; 我们同样测得氧化铝的杨氏模量为435±14GPa，维氏硬度为2820±100kg / mm2。 通过专有的压痕技术（NanoBlitz 3D），我们生成了TTZ的机械性能图，它阐明了初级立方氧化锆相和颗粒间二氧化硅相之间的机械区别。