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康帕因 双温区滑轨式CVD系统(含预热器) CVD1200C-II-SL 200D50-5Z
- 品牌:康帕因
- 型号: CVD1200C-II-SL
- 产地:安徽 合肥
- 供应商报价:面议
- 合肥康帕因设备技术有限公司 更新时间:2024-06-18 09:44:47
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销售范围售全国
入驻年限第4年
营业执照已审核
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产品特点
- CVD1200C-II-SL 200D50-5Z(含预热器) 双温区滑轨式CVD系统由预热炉、双温区滑轨炉、质子流量控制系统、真空系统三部分组成。
详细介绍
设备描述
CVD1200C-II-SL 200D50-5Z(含预热器) 双温区滑轨式CVD系统由预热炉、双温区滑轨炉、质子流量控制系统、真空系统三部分组成。双温区滑轨炉可移动并可实现快速升降温;PLC控制5路质子流量器,能够精确控制系统的供气;真空泵可实现对管式炉快速抽真空。CVD(化学气象沉积系统)常用于表面材料生长、沉积,是一款实验室常用设备
技术参数
双温区滑轨炉LFT1200C-II 200D50
炉体结构
该设备采用双层壳体并带有风冷系统,使其炉体表面温度都小于55℃
· 炉底安装一对滑轨,可手动滑动,以便满足特殊工艺的快速升降温的要求。
炉管尺寸
Φ50/60/80/100×1600mm(可提供特殊定制。)
功率
5kW
输入电压
220VAC 单相 50/60Hz
加热元件
Cr27Al7MO2(掺钼铁铬铝合金)
zui高温度
zui高温度:1200℃
额定温度:1100℃
升温速率
≦10℃/min(推荐)
加热区长度度
· 两个加热区的长度都是200mm
· 分别由独立的温控系统控制
恒温区长
· 100+100mm(±1℃)
· 可获得较长恒温区间
控温精度
· ±1℃
快速连接法兰
· Φ50快结式不锈钢真空法兰
· 打开法兰直接卸下卡箍即可,取放样品方便
另配备有可调节高度的法兰支架预热炉
功率
· 1kw
加热区
· 100mm
zui高温度
· 1200℃
工作温度
· 200-800℃(可根据实际工艺需求调整)
五路质子流量控制系统
MFC-5Z
电压
220VAC 单相 50/60Hz
针阀材质
316不锈钢
量程
50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm(可根据工艺要求提供多种量程选择)
工作温度
5~45℃
外型尺寸
600(L) x 600(W) x 700(H) mm
电压
AC220V/50Hz单相
功率
23W
真空系统
LVU-10
壳体尺寸
· 600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm
zui大承载量
· 1000 Lbs
抽气速率
· 10m³/h
· 极限真空度:10-1Pa
· 双层立式油污过滤器(PE材质)与真空泵连接
质保期
一年质保期,(相关耗材除外,如炉管,密封圈加热元件等易耗件)
使用注意事项
· 炉管内气压不可高于0.02MPa
·
· 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
· 石英管的长时间使用温度<1100℃
· 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)
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