昊量/auniontech 石墨烯CVD制备设备CVD
超声波石墨烯处理设备CSCB-2GL
台式高性能CVD石墨烯/碳纳米管快速制备系列—nanoCVD
石墨烯BET比表面积分析仪
超纯水设备α系列
设备描述
CVD1200C-II-SL 200D50-5Z(含预热器) 双温区滑轨式CVD系统由预热炉、双温区滑轨炉、质子流量控制系统、真空系统三部分组成。双温区滑轨炉可移动并可实现快速升降温；PLC控制5路质子流量器，能够精确控制系统的供气；真空泵可实现对管式炉快速抽真空。CVD（化学气象沉积系统）常用于表面材料生长、沉积，是一款实验室常用设备
技术参数
双温区滑轨炉LFT1200C-II 200D50 | 炉体结构 | 该设备采用双层壳体并带有风冷系统，使其炉体表面温度都小于55℃ · 炉底安装一对滑轨，可手动滑动，以便满足特殊工艺的快速升降温的要求。 |
炉管尺寸 | Φ50/60/80/100×1600mm(可提供特殊定制。) | |
功率 | 5kW | |
输入电压 | 220VAC 单相 50/60Hz | |
加热元件 | Cr27Al7MO2（掺钼铁铬铝合金） | |
zui高温度 | zui高温度：1200℃ 额定温度：1100℃ | |
升温速率 | ≦10℃/min（推荐） | |
加热区长度度 | · 两个加热区的长度都是200mm · 分别由独立的温控系统控制 | |
恒温区长 | · 100+100mm（±1℃） · 可获得较长恒温区间 | |
控温精度 | · ±1℃ | |
快速连接法兰 | · Φ50快结式不锈钢真空法兰 · 打开法兰直接卸下卡箍即可，取放样品方便 | |
预热炉 | 功率 | · 1kw |
加热区 | · 100mm | |
zui高温度 | · 1200℃ | |
工作温度 | · 200-800℃（可根据实际工艺需求调整） | |
五路质子流量控制系统 MFC-5Z | 电压 | 220VAC 单相 50/60Hz |
针阀材质 | 316不锈钢 | |
量程 | 50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm（可根据工艺要求提供多种量程选择） | |
工作温度 | 5～45℃ | |
外型尺寸 | 600(L) x 600(W) x 700(H) mm | |
电压 | AC220V/50Hz单相 | |
功率 | 23W | |
真空系统 LVU-10 | 壳体尺寸 | · 600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm |
zui大承载量 | · 1000 Lbs | |
抽气速率 | · 10m³/h · 极限真空度：10-1Pa · 双层立式油污过滤器(PE材质）与真空泵连接 | |
质保期 | 一年质保期，(相关耗材除外，如炉管，密封圈加热元件等易耗件) | |
使用注意事项 | · 炉管内气压不可高于0.02MPa · · 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 · 石英管的长时间使用温度＜1100℃ · 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） | |
报价：面议
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感应区熔炉系统如图所示，包含:高频感应电源及配套感应线圈,耐高温石英管,移动控制系统,红外测温,系统水冷循环装置等，可调角度工位。石英玻璃管与感应线圈采用整体式设计,底部安装电动机械机构。
大口径高温高压芯片退火管式炉设备用于较大尺寸（Z大尺寸为8英寸）衬底退火处理，设备采用电阻丝为加热元件，保温材料为氧化铝纤维炉膛真空吸附成型，保温性能好，电阻丝为内嵌式一体成型，美观、节能；该设备还集成了真空以及供气系统，满足更多工艺条件要求。采用耐高温金属管为高温炉管，满足高温工作条件，也能满足真空或者一定的正压条件实验要求，是一款洁净的大尺寸样品热处理设备
石英管与内置石英柱高温熔接，标准化处理，重复性好。 石英管配合动密封系统自动旋转，操作简单，受热均匀。 真空系统配备旁抽装置，避免粉末材料进入真空泵，延长真空泵使用寿命。 该设备为标准化操作，即学即用，简单方便。
1、大口径真空管式炉，可实现一次性处理多样品实验。 2、采用双层壳体机构，炉膛使用氧化铝多晶纤维材料，广泛应用于材料金属在低真空、还原性、保护性气氛下的热处理，也可用于特殊材料的热处理。
主要特点：该真空箱式炉系列用于在1100℃下半导体器件、金属材料的热处理和还原性烧结等工艺，也可用于产品的炭化试验。该炉采用电阻丝加热，PID程序控温仪控制，温控仪可设定30段升温曲线、PID控制参数自整定、并具有断 偶、超温报警保护等功能。炉体采用超轻质高铝纤维材料，具有热容小、温度升降控制灵活、节能等特点，设备可根据真空度的需要分别选用机械泵或其他真空机组， 非常适合于试验和小批量生产之用。 该设备为密封式是加热腔体，确保设备可在真空条件下，或者一些特殊气氛条件下使用，相比普通箱式炉，使用环境更灵活，使用范围更广泛。
应用：采用双层壳体机构，炉膛使用氧化铝多晶纤维材料，广泛应用于材料金属在低真空、还原性、保护性气氛下的热处理，也可用于特殊材料的热处理，如碳制品的碳化工艺。 特点：炉门口安装有水冷系统，气体经过流量计进入炉内，并有多处洗炉膛进气口、出气口有燃烧嘴，可以通氢气、氩气、氮气、氧气、一氧化碳等气体。真快度可达10pa，具有温差均匀，表面温度低，升降温速度快，节能等优点，温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪表控制。
此设备是集控制系统与炉膛为一体,炉膛是使用真空成型高纯氧化铝聚轻材料，采用电阻丝为加热元件，ZG发热温度可达1200℃。采用双层壳体结构，配有风冷系统，使得壳体表面的温度小于60度。炉膛材料采用高纯氧化铝多晶纤维，保温耐用，GX节能50%。 专为高等院校、科研所及工矿企业对金属，飞金属及其他化合物料在气氛或真空状态下进行快速烧结、融化、分析而研制的专用设备。
LFT1500C 440D80 OP是一款开启式立式淬火管式炉。该设备设计为立式结构，样品由金属丝固定，上端配有传动机构，可在真空条件下上升下降完成提升和淬火的工作。其炉管为外径Φ80mm的莫来石管，采用液体罐来密封。此设备设计是用于样品高温淬火。样品高温处理后，迅速坠落到冰水中或油中，来研究样品在高温状态下的相变和结构。 产品介绍： 1、采用双层壳体结构并带有风冷系统，使得壳体表面温度小于60℃ 2、炉体设计为开启式，以方便与更换炉管 3、采用高纯氧化铝作为炉膛材料，提高设备的保温性能 4、液体容器通过闸阀和炉管相连，使得样品坠入液体容器，没有污染,操作方便 5、带水冷的电磁快接法兰和电动挡板阀方便操作
营业执照已审核
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沪公网安备 31011502008050号