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五温区CVD管式烧结炉
- 品牌：河南诺巴迪
- 型号： NBD-O1200-80T5G
- 产地：郑州
- 供应商报价： 面议
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河南诺巴迪材料科技有限公司
更新时间：2024-04-26 08:08:18 -
企业性质生产商
入驻年限第5年
营业执照已审核
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- 详细介绍
设备简介：
多温区CVD系统一体炉，供气和真空系统灵活组合，满足各类薄膜沉积，在半导体工业中应用非常广泛。包括沉积大面积的绝缘材料，以及大多数金属材料和金属合金材料。诺巴迪成套的CVD镀膜系统，适用于各大高校材料实验室、科研院所、环保科学等领域。
设备简介：
1.采用高纯石英或不锈钢材质炉管，耐腐蚀耐高温性能优越；
2.高纯度Al2O3纤维耐火保温材料，保温效果优越，降低设备功耗；
3.炉体采用双层风冷结构工艺，自动抬升系统开启上盖；
4.NBD-101EP嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式，实时加热功率显示，非线性式样温度修正；实验报告自主生成，实验数据无限次导出。
5.一体化设备包含多路供气系统，多温区加热系统和高真空系统；
产品型号
NBD-O1200-80T5G5 炉管尺寸
Ø25/Ø50/Ø60/Ø80/Ø100*1600mm
工作温度
≤1150℃
加热区选择(可定制）
200mm*5或300mm*5
升温速率
≤20℃/min
电气规格
三相AC380V 10KW
气体系统（可选购）
浮子流量计或质量流量计
管道示意图
进气接口数量
2、3、4（多路可选）
流量范围
20-250/20-800ml/min......(多量程可选)
50/100/200/500sccm......(多量程可选)
工作压差范围
0-0.15MPa
低真空系统（可选购）
真空泵型号
NBD-3C/NBD-4C
抽气速率
3L/s或4L/s
进排气口尺寸
KF16/25
系统真空
3~5Pa（真空泵极限真空6.2*10-2Pa）
工作环境温度
5-40℃
电气规格
AC220V
高真空系统（可选购）
真空泵型号
NBD-103(A)
抽气速率
110L/s
真空测量计
复合真空计
系统真空
4.310^-3Pa
工作温度
5-40℃
电气规格
AC 220V
* 支持非标定做，更多型号，欢迎来电垂询
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- 产品优势
- 多温区CVD系统一体炉，供气和真空系统灵活组合，满足各类薄膜沉积，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积薄膜材料的技术，包括大面积的绝缘材料，以及大多数金属材料和金属合金材料。诺巴迪成套的CVD镀膜系统，适用于各大高校材料实验室、科研院所、环保科学等领域。
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| 仪器分类: | 管式炉 | 稳定性: | 控温精度：±1 |
| 最高温度: | 1200℃ |
