分享 收藏

（分体式）高温CVD系统

销售范围售全国

入驻年限第8年

营业执照已审核

立即扫码咨询

联系方式：400-822-6768

联系我们时请说明在仪器网（www.yiqi.com）上看到的!

为您推荐

（分体式）高温CVD系统核心参数

稳定性

控温精度：±1

最高温度

1200℃

产品特点

我们致力于研发更好用的实验室热处理设备，气氛管式炉zui为常用。我们不断地从细节入手，经过百余次的反复锤炼，从而打造了这款外形精致美观，操作方便实用的管式炉。

设备简介：

化学气相沉积(CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积薄膜材料的技术，包括大范围的绝缘材料，以及大多数金属材料和金属合金材料。为此我们研发成套的CVD镀膜系统，适用于各大高校材料实验室、科研院所、环保科学等领域；

配置详情

	NBD-101E嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式，非线性式样温度修正；
产品型号	NBD-O1200-XIT（炉管直径50、60、80、100mm可选）
工作温度	≤1150℃
加热区尺寸	440mm
升温速率	≤20℃/min
电气规格	AC 220V 4KW
气体系统（可根据需求搭配）	流量计类型	浮子流量计				质量流量计
	管道示意图
	进气接口数量	2、3、4（多路可选）
	流量范围	20-250/20-800ml/min(多量程可选)				50/100/200sccm(多量程可选)
	工作压差范围	0-0.15MPa
低真空系统（可根据需求搭配）	真空泵型号		NBD-1.5C		NBD-3C		NBD-4C
	抽气速率		0.4L/s		0.8L/s		1.5L/s
	进排气口尺寸		Φ8mm宝塔接头		Φ8mm宝塔接头		KF16/25
	极限压力		1000Pa		100Pa		10Pa
	工作温度		5-40℃
	电气规格		AC220V
高真空系统（可根据需求搭配）	真空泵型号		NBD-103(A)		NBD-103(B)		NBD-103(C)
	抽气速率		110L/s		600L/s		700L/s
	真空测量计		复合真空计
	极限压力		10^-3Pa		10^-4Pa		10^-5Pa
	工作温度			5-40℃
	电气规格			AC 220V	AC 220V			AC 380V
* 支持非标定做，更多型号，欢迎来电垂询。