产品型号：
CPC-10
一、应用领域
等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
二、设备特点
7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动控制监测工艺参数状态，20个配方程序，工艺数据可存储追溯。
PLC工控机控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。
石英真空舱，真空管路系统采用316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。
采用质量流量计，实现对气体输入控制，改变传统浮子流量计控制气体流量不准确问题。
HEPA 高效过滤，气体返填吹扫，防止二次污染。
60度倾角操作界面设计，符合人体功能学，操作方便，界面友好。
顶置真空舱，上开盖设计，下压式铰链开关方式，开关盖方便。
采用花洒式多孔进气方式，改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。
上置式 360 度自由水平取放样品托盘设计，符合人体功能学，操作更方便。
有效清洗面积大，可清洗最大直径8吋硅片。
安全保护，舱门打开，自动关闭电源。
三、设备参数
1. 发生器频率：40KHz
2. 功率：0-600 W无极可调
3. 匹配器：自动匹配
4. 激发方式：电容式
5. 气体控制：质量流量计（MFC）或双浮子流量计
6. 舱体尺寸：L300×Φ215 mm
7. 舱体材质：不锈钢或石英玻璃
8. 舱体容积：10.8 L
9. 有效处理尺寸：L300×W215 mm
10. 时间设定：9999秒
11. 真空泵：抽速8 m³/h
12. 气体稳定时间：1分钟
13. 真空度：100 pa以内
14. 电源：AC220 V 50/60 Hz 766/466 W
15. 产品尺寸：L645×W550×H495 mm
16. 包装尺寸：L750×W700×H720 mm
17. 整机重量：55 kg
报价：面议
已咨询136次等离子清洗机
报价：面议
已咨询2107次CIF等离子清洗机
PLT系列恒流脉冲源表适用于可见光、大功率BAR、VCSEL阵列等大功率激光器的测试，支持脉冲、直流PIV特性曲线扫描测试和特性参数计算，支持光谱特性测试（需要外接光谱仪）。仪表集脉冲电流源、电流表、电压表和光功率计等功能于一体，具有体积小、测试速度快、使用简单的特点。
S系列源表是一款高精度、大动态范围、数字触摸的率先国产化的源表，集电压、电流的输入输出及测量等多种功能。最大输出电压300 V，最小测试电流分辨率10 pA，支持四象限工作，因此广泛应用于各种电气特性测试。
PSS SM系列是一款4通道独立的高性能精密源表，能够同时输出和测量电压电流，最大支持±30 V，±1 A直流/脉冲输出，最小脉宽可达100 μs。支持千兆以太网及RS422串口通信，支持源表标准SCPI指令集，支持多台源表同步触发，提高了系统测试效率并降低成本。
P系列脉冲源表是在直流源表上的基础上新打造的一款高精度、大动态、数字触摸源表，汇集电压、电流输入输出及测量等多种功能。最大输出电压达300V，最大脉冲输出电流达30A，支持四象限工作，因此能广泛的应用于各种电气特性测试中。
HCP大电流台式脉冲源表具备直流和脉冲输出能力，最大脉冲输出电流100A，最大输出电压100V，最大直流功率300W，最大脉冲功率5000W，支持四象限工作，输出及测量精度均可达0.1%，可广泛应用于功率MOS测试、肖特基二极管测试、整流桥堆测试以及太阳能电池模组测试等。
DPX00B双通道高精度台式脉冲源表具有多种测试模式，可显著提高测试和表征效率，广泛应用于各种电气特性测试中，特别适合现代半导体、纳米器件与材料、有机半导体、印刷电子技术以及其他小尺寸、低功率器件的特性分析
Memrecam Q1系列是针对要求较高的且需要多个相机测试环境而设计的产品。它拥有130万像素传感器，并在此分辨率下最高拍摄速度可达到2000 fps。具有紧凑坚固耐用的设计，并且有非常出色感光度，使其成为窄小空间的理想选择，例如汽车碰撞测试环境、生产设施检测和显微应用等。Memrecam Q1系列可与现有的GX系列和HX系列组合使用。
Memrecam Q2m是最小的一体化高性能Hi-G相机，2百万像素分辨率下最高帧率2,000fps。机身设计轻便，并且耐冲击。
营业执照已审核
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