Lasertec激光+白光混合共聚焦显微镜HYBRIO

激光白光共聚焦显微镜

日本Lasertec公司推出了Optelics Hybrid 混合共焦显微镜,将激光和白光源组合在一体,用于多功能高性能共聚显微镜.两组共焦光学器件与附加器件相结合,包括干涉仪,微分干涉对比观察和光谱反射膜厚度测量仪。

品牌简介：

日本Lasertec是一家半导体检测设备的公司，成立于1960年，主要提供半导体（晶圆/光罩）与LCD检测设备，与美国半导体设备厂商KLA具有毫不逊色的技术和产品。业界首推出混合激光共聚焦显微镜，基于激光加白光的双光学系统，使其可以满足多种测试需求。

产品特点：

激光加白光双光学系统，具有五大功能。

1. 白光共聚焦、激光共聚焦、微分干涉、反射分光膜厚测试、相差干涉测试、垂直白光干涉测试。
2. HYBRID 提供高速自动测量，测量速度（15Hz 至 120Hz 帧速率）。
3. 自动缺陷检测和缺陷分类。
4. 宽度方向可重复性3σ=10nm  高度方向可重复性σ=10nm。
5. 可实现3D测量、二维测量、表面粗糙度测量、薄膜厚度测量。

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