上海伯东 代理 德国 PH-Instruments DosiTorr 是一款基于 Spinning Rotor Gauge (SRG) 技术 的高真空压力传感器，专为 半导体制造、离子注入、干法蚀刻 等严苛工业环境设计。其核心优势在于 长期稳定性、耐腐蚀、超清洁测量，可完全替代传统的电离规（Ion Gauge），解决漂移、沉积污染和频繁失效问题。
技术参数：
| 参数 | DosiTorr | 传统电离规 (Ion Gauge) |
|---|---|---|
| 测量范围 | 10 mbar ~ 5×10⁻⁷ mbar | 10⁻³ mbar ~ 10⁻¹⁰ mbar（易漂移） |
| 精度 | 1% 读数（0.1~1×10⁻⁶ mbar） | 10%~20%（受污染影响大） |
| 长期稳定性 | <1.5%/年 | 需频繁校准（每周~每月） |
| 耐腐蚀性 | 不锈钢材质，抗 BF₃/PH₅ | 钨丝易腐蚀，寿命仅数周~数月 |
| 响应时间 | 1s（快模式） | 0.1s~1s（但易受干扰） |
| 维护需求 | 几乎免维护（传感器可清洁/更换） | 需定期更换灯丝，维护成本高 |
产品应用:
半导体制造：离子注入机（ION Source & End Station）压力监测
干法蚀刻：等离子体腔室真空控制
校准实验室：作为高精度参考标准
光伏/LED：MOCVD 反应腔真空管理
报价：€5250
已咨询4692次微流控压力泵或压力控制器
报价：面议
已咨询209次阵列式压力传感系统
报价：面议
已咨询55次传感器
报价：面议
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已咨询963次环境监测
报价：￥600
已咨询2083次压力传感器
报价：面议
已咨询493次光栅
报价：面议
已咨询2340次气象传感器
超高精度：0.1 mbar至1×10⁻⁶ mbar范围内达读数±1% 100%线性压力读数（与气体种类无关） 长期稳定性：年漂移率<1.5% 不锈钢传感器抗腐蚀与沉积 安全洁净测量：无污染/无热辐射/无电离效应
润滑油
伯东公司日本原装设计制造离子蚀刻机 IBE. 提供微米级刻蚀, 均匀性: ≤±5%, 满足所有材料的刻蚀, 即使对磁性材料, 黄金 Au, 铂 Pt, 合金等金属及复合半导体材料, 这些难刻蚀的材料也能提供蚀刻. 可用于反应离子刻蚀 RIE 不能很好刻蚀的材料
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
上海伯东日本原装进口适合小规模量产使用和实验室研究的离子蚀刻机, 一般通氩气 Ar, 内部使用美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 40 产生轰击离子; 终点检出器采用 Pfeiffer 残余质谱监测当前气体成分, 判断刻蚀情况.
Aston™ 特性 实时过程控制的通用工具, 耐腐蚀性气体, 抗冷凝 半导体制造的分子分析原位平台, 提供实时, 可操作的数据 采用等离子体电离源, 无灯丝, 更耐用 可与大批量生产工具完全集成 Aston™ 作为一个强大的平台, 可以取代多种传统工具, 提供前所未有的控制水平, 包括光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.
氦质谱检漏仪 ASM 340 优点 1. 前级泵配备旋片泵（油泵）Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h 2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s 3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的Z小检测漏率： 真空模式: 5E-13 Pa m3/s 吸枪模式: 5E-10 Pa m3/s 目前业界公认Z小漏律 4. 移动式操作面板（有线, 无线） 5. 集成 SD卡, 方便资料处理 6. 抗破大气, 抗震动, 降低由操作失误带来的风险性 7. 丰富的可选配件, 如吸枪, 遥控器, 小推车, 旁路装置, 标准漏孔等 8. 检测时间短
营业执照已审核
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沪公网安备 31011502008050号