金镍测厚仪

标配：

● 50瓦，钨（W）钯微聚焦黄铜材质高效散热X射线管，寿命长

● 标配高分辨率 25mm 2SDD探测器（可选70mm 2LSDD)，优于 125eV

● 30X 光学放大相机，1X~7X 数字放大，可放大210倍

● 标配多准直器组件，4 个一组，直径 0.1, 0.2, 0.3, 0.6 mm

● Z 轴自动控制，可容纳样品高度 140 mm，Z轴行程132mm

● 镭射自动聚焦、光学扫描聚焦、智能自动聚焦

● 可调节 LED 样品照明

● 安全互锁及Z 轴防碰撞机构

● 基于 FP 的膜厚测量软件 X-Raliser

P系列（标准台XY台）

● 4 位置自动切换一次滤波器

● 联想电脑：CPU i5 处理器、16G 内存、480G固态硬盘、WIN10专业版

联想显示屏

● 彩色喷墨打印机

P 系列（标准可编程XY台）：

● 标准电动可编程 XY 平台，行程 152x127 mm

● 标准 XY 平台尺寸 381x340 mm 或 600x600 mm

E系列扩展加大XY台（线路板行业）：

● 加大电动可编程 XY 平台，行程 254x254 mm

● 加大XY 平台尺寸 715x610 mm

可选项（*）：

E系列（扩展加大XY台）

● 高分辨率 70平方毫米LSDD 硅漂移探测器

● 55X 光学放大相机，1X~7X 数字放大

● 多准直器，4 个一组

■ 0.05x0.05、0.1、0.2、0.3mm

■ 0.05x0.25、0.1、0.2、0.3mm

■ （特殊规格请与厂商确认）

● 可变聚焦系统，覆盖 6, 12.5, 25, 37, 61, 73, 86 mm 焦距

● 满足实际样品的外观多样性

■ 平面、台阶、凹槽、弧面 ……