视芯光学T100 3D光学轮廓仪的应用：半导体晶圆超光滑表面质控

      在先进半导体制造环节，晶圆表面质量直接关系芯片良率与性能，尤其是12英寸晶圆经过CMP化学机械抛光后，表面微观缺陷与粗糙度的管控成为关键环节，直接影响后续光刻、蚀刻等工序的效果。

      晶圆厂长期受传统检测方式局限，面临检测效率低、易损伤晶圆、数据不全面等痛点。视芯光学T100高精度3D光学轮廓仪，可用于抛光后晶圆的全域表面检测。传统接触式测量方式容易划伤晶圆表面，且仅能获取单一线轮廓数据，无法全面反映整片晶圆的微观起伏状态，难以满足纳米级检测需求，无法为工艺优化提供全面数据支撑。

      视芯光学T100依托非接触式测量原理，搭配白光干涉与共聚焦双模式，可对整片晶圆进行快速全域扫描，高效生成纳米级分辨率的3D形貌图，清晰呈现表面微划痕、抛光残留、颗粒污染等各类缺陷，同时准确计算Sa、Sz、Sdr等全维度粗糙度参数，为质量评估提供多维度依据。

      在实际测试过程中，T100单点位测量耗时仅数秒，支持自动拼接大尺寸晶圆图像，完整呈现全域表面状态，大幅提升检测效率，满足量产环节的高效检测需求。工艺团队通过分析T100反馈的实时数据，及时调整抛光压力、研磨液配比与抛光盘转速，将晶圆表面粗糙度波动控制在合理范围，有效提升后续光刻工艺对位精度，为芯片良率提供可靠保障，助力企业降低生产成本、提升产品竞争力。

轮廓仪观察下电镀Ni的粗化表面

视芯光学品牌介绍

      “视芯光学”是上海视芯集智科技有限公司倾力打造的专业光学测量技术品牌。公司总部位于中国上海，是一家专注于光学测量技术领域的高科技企业，公司凭借在光学测量技术领域的深厚积累，致力于为客户提供专业的技术咨询服务及高精度非接触式计量解决方案。公司始终遵循先进的技术、卓yue的质量和客户至上的服务宗旨，在行业内逐步树立起专业、可靠的技术形象，为全qiu制造业与科研机构提供高精度非接触式3D光学轮廓仪计量解决方案。

      “视芯光学”依托公司在干涉技术、共聚焦技术和多焦面叠加技术领域的深厚积累，成功研发出高精度光学轮廓仪系列产品，可实现对微观表面形貌、三维轮廓、粗糙度等关键参数的精zhun测量。无论是用于研发实验室与质量检测中心的标准系统，还是集成于在线生产过程的全自动非接触式计量方案，视芯光学都能提供覆盖从实验室到生产线的完整测量链条，助力客户提升工艺控制水平与产品良率。

      品牌名称“视芯”寓意“以光学之眼，探精密之芯”——通过先进的光学测量手段，洞悉微观世界的每一处细节。视芯光学不仅提供高性能的测量设备，还依托自身丰富的技术经验，为客户提供测量技术领域的专业咨询服务，帮助用户优化测量流程、解决复杂的检测难题。

“视芯光学”不断拓展在gao端制造、半导体、精密机械、新材料等领域的应用场景，致力于成为中国光学测量领域值得信赖的品牌。