视芯光学T100共聚焦显微镜观察MEMS器件微结构三维表征

MEMS传感器与执行器的微结构尺寸、形貌与表面质量，直接决定器件的灵敏度、稳定性与使用寿命，其检测难度因结构微小、形态复杂、易损伤等特点大幅提升，传统检测手段难以满足精确检测需求。

在MEMS器件研发及压力传感器生产过程中，核心敏感膜片与微悬臂梁结构的尺寸精度、表面粗糙度要求极高，传统检测设备无法准确捕捉微结构细节，且易对器件造成损伤。可使用视芯光学T100多功能共聚焦显微镜，作为微结构检测的核心设备。

视芯光学T100新型共聚焦白光干涉仪，凭借共聚焦光学成像的独特优势，可有效滤除杂散光干扰，实现MEMS器件深层微结构的清晰成像，准确测量敏感膜片厚度、悬臂梁尺寸、沟槽深度与宽度等关键参数，测量精度可满足微米级甚至纳米级需求。

同时，设备以非接触式方式检测微结构表面粗糙度，准确识别加工残留、微裂纹、变形等各类缺陷，避免检测过程对器件造成损伤，保障检测结果的准确性。

在器件研发阶段，视芯光学T100助力工程师分析不同蚀刻工艺、沉积参数对微结构形貌的影响，通过对比不同工艺下的检测数据，优化工艺方案，缩短研发周期；

在量产环节，视芯光学T100可实现自动化批量检测，快速筛选出结构尺寸超差、表面缺陷超标的器件，保障每台MEMS传感器的性能一致性，为消费电子、汽车电子等下游领域提供稳定可靠的核心器件。

轮廓仪观察下多种器件粗糙度结构图

视芯光学品牌介绍

“视芯光学”是上海视芯集智科技有限公司倾力打造的专业光学测量技术品牌。公司总部位于中国上海，是一家专注于光学测量技术领域的高科技企业，公司凭借在光学测量技术领域的深厚积累，致力于为客户提供专业的技术咨询服务及高精度非接触式计量解决方案。公司始终遵循先进的技术、卓yue的质量和客户至上的服务宗旨，在行业内逐步树立起专业、可靠的技术形象，为全qiu制造业与科研机构提供高精度非接触式3D光学轮廓仪计量解决方案。

“视芯光学”依托公司在干涉技术、共聚焦技术和多焦面叠加技术领域的深厚积累，成功研发出高精度光学轮廓仪系列产品，可实现对微观表面形貌、三维轮廓、粗糙度等关键参数的精zhun测量。无论是用于研发实验室与质量检测中心的标准系统，还是集成于在线生产过程的全自动非接触式计量方案，视芯光学都能提供覆盖从实验室到生产线的完整测量链条，助力客户提升工艺控制水平与产品良率。

品牌名称“视芯”寓意“以光学之眼，探精密之芯”——通过先进的光学测量手段，洞悉微观世界的每一处细节。视芯光学不仅提供高性能的测量设备，还依托自身丰富的技术经验，为客户提供测量技术领域的专业咨询服务，帮助用户优化测量流程、解决复杂的检测难题。

“视芯光学”不断拓展在gao端制造、半导体、精密机械、新材料等领域的应用场景，致力于成为中国光学测量领域值得信赖的品牌。