RIE反应离子刻蚀机

RIE反应离子刻蚀机

高精度和各向异性：能刻蚀出侧壁陡直、尺寸精确的图形； 良好的均匀性和重复性：适合大规模生产； 材料适用性广：通过不同气体组合，可以 刻蚀多种材料； 高选择比：可针对性的刻蚀特定材料而不损伤其他材料； 清洁：干法工艺，避免湿法刻蚀带来的清洗、废液处理问题

真空滚筒等离子处理机

PLC+触摸屏操作快捷简单； 结构对称，功率损耗低，有效工作能量高； 空间利用率高，高密度、高能量等离子体活性粒子； 节能环保，良好的安全性、低耗能

真空等离子清洗机

适合科研实验室及小规模生产

真空等离子清洗机

真空等离子清洗机

设备采用PLC+触摸屏控制，操作简单易维护，适用于小规模生产，科学实验； 腔体采用进口铝合金材质，耐腐蚀，腔体可根据客户需求定制； 进口针阀精密流量计，两路气体反应通道； 独特电极结构，确保等离子均匀性； 良好安全性，多功能安全保护；