德国Osiris半自动旋涂设备

产品简介

UNIXX SB20/30 半自动旋涂处理模块提供出色的涂层均匀性和可重复性，特别是对于厚涂层和具有高形貌的负涂层。

UNIXX SB20/30 支持最大 Ø200 (Ø300) mm 的晶圆，并可配置用于旋涂、基本清洁和干燥。 通过注射器分配、光刻胶泵或加热介质管线等多种选项，这些模块可以为我们的客户提供个性化配置。加工区域易于清洁，并且可以抵抗最常用的化学品。

 产品特色

开碗式优点:

÷ 标准涂层

÷ 圆形晶圆最大可达 Ø200 (Ø300) mm

÷ 方形衬底最大可达 150 x 150 (230 x 230) mm

÷ 适用于极薄和薄的光刻胶、SOG、Polymer 和 BCB 凸块材料

÷ 易于清洁和维护

÷ 降低投资成本

两个系统模块的一般属性:

÷ 手动装卸

÷ 用于硅晶圆、玻璃晶圆、陶瓷晶圆和复合材料

÷ 1x 点胶臂，最多 6 条介质线

÷ 不同类型的喷嘴

÷ 直驱无刷旋转电机

÷ 带防溅环的可更换工艺碗

÷ 真空或低接触卡盘或边缘夹持卡盘

÷ 设备上或通过控制单元的启停按钮

÷ 系统正面的紧急停止按钮

÷ 软件提供用户友好的操作和多用户界面

技术数据

通用

衬底尺寸: 最大可达 Ø200 mm (Ø8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

最大可达 Ø300 mm (Ø12 inch) 或 230 x 230 mm (9 x 9 inch)

电机转速: 最大 10.000 转*，以 1 转 步进可编程

电机加速: 最大 40.000 rpm/sec*，以 1 rpm/sec 为步长

步进时间: 1 到 999.9 秒, 以 0.1 秒为步长

系统架构: 由粉末涂层不锈钢制成，4 个可调节支脚和运输轮

系统外壳: 由粉末涂层不锈钢制成

工艺碗: 由天然 PP 制成

工艺盖: 带安全中断传感器的透明塑料盖

*取决于卡盘设计、衬底重量和负载

要求

电源: 400(208) VAC / 3 相 / N / PE / 50(60) Hz

真空: -0.8 巴 （-80KPa）, 管 OD Ø8 mm

CDA: 8 巴（800KPa）, 管 OD Ø10 mm

氮: 4.5 巴（450KPa）, 管 OD Ø10 mm

排气过程: OD Ø110 mm, 50 - 120m3/h*

排气容器: OD Ø110 mm, 50 - 200m3/h*

排水: 到带有高液位传感器的废物罐或到设施排水管

尺寸 (宽X深X高) 

单底架: 650 x 650/875 x 960/1.130 mm (25.6 x 25.6/34.5 x 37.8/44.5 inch)

打开盖子的高度: 1.525 mm (60 inch)