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Panasonic Plasma Dicing 松下等离子切割设备

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详细介绍


Panasonic Plasma Dicing 松下等离子切割设备

Plasma Dicer APX300

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Plasma Dicer APX300

 

松下APX300是一款专为高附加值硅基芯片和小型芯片开发的等离子切割设备,与传统机械切割设备相比,具有切割效率高、wafer无损伤、wafer利用率高等特点。

 

应用领域:高性能传感器/储存器、物联网等领域具有微小、轻薄、易碎、需要清洁等特点的wafer切割,例如:low-k wafer(易碎)、3D/TSV芯片(轻薄)、图像传感器(清洁度要求高)、MEMS(易碎)、RFID芯片(微小)。

图片10.png 

等离子切割设备的应用领域

产品优势:

1. 无损伤,切口整齐平整,无杂质碎屑,在电镜下观测形貌无损伤。

图片11.png 

等离子切割与传统机械切割在硅片断裂形式上的不同

图片12.png

设备咨询电话:182 6326 2536(微信同号); 

产品优势
松下APX300是一款专为高附加值硅基芯片和小型芯片开发的等离子切割设备,与传统机械切割设备相比,具有切割效率高、wafer无损伤、wafer利用率高等特点。
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