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Plasma Stripper (Asher) 等离子去胶机
- 品牌：牛津仪器
- 型号： Plasma Stripper
- 产地：欧洲 英国
- 供应商报价：面议
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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
更新时间：2025-05-16 08:29:21 -
销售范围售全国
入驻年限第7年
营业执照已审核
- 同类产品英国Oxford 离子刻蚀/沉积/去胶机(17件)
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产品特点
- 开放式设计，可快速加载和卸载晶圆；
基片放置在石英上，以避免溅射/再沉积电极材料；
通过顶部电极上的“莲蓬头”进气口将气体注入工艺室。 详细介绍
应用:从蚀刻晶圆片上移除光刻胶
流程配置: RIE/ICP
工作原理
。使用等离子体源，生成单原子反应种。
。氧是最常见的反应物质。反应性物质与光阻结合形成灰，
。用真空泵将其除去。
。ICP结构避免了高能离子轰击和电容耦合，
。提供低衬底损伤。
可用气体: O2， N2O
主要性能:
。开放式设计，可快速加载和卸载晶圆。
。基片放置在石英上，以避免溅射/再沉积电极材料
。通过顶部电极上的“莲蓬头”进气口将气体注入工艺室
。电感耦合等离子体(ICP)和电极的独立射频发生器提供对离子能量和离子密度的独立控制
。高电导泵浦端口提供高的气体吞吐量，以最快的腐蚀速率
。使用等离子体源，生成单原子反应种。氧是最常见的反应物质。
沪公网安备 31011502008050号