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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
主营产品:光刻机/3D打印机,镀膜沉积机,离子刻蚀与沉积系统,半导能检测仪器,UV清洗设备
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英国Oxford 离子刻蚀/沉积/去胶机

 
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PlasmaPro 100 ALE牛津原子层刻蚀机
  • 品牌: 牛津仪器
  • 型号:PlasmaPro 100 ALE
  • 产地:英国
  • 我们的设备和工艺已通过充分验证,正常运转时间可达90%以上,一旦设备安装完毕,可立即投入使用。PlasmaPro 100系列市场应用广,包括但不限于: MEMS和传感器、光电子、分立元器件和纳米技术。...

PlasmaPro 100 Estrelas牛津深硅刻蚀系统
  • 品牌: 牛津仪器
  • 型号:PlasmaPro 100 Estrelas
  • 产地:英国
  • PlasmaPro 100 Estrelas 平台旨在提供深硅蚀刻(DSiE)领域的全方位的灵活性以满足微电子机械系统(MEMS)、 先进封装以及纳米技术市场的各种工艺要求。考虑到研究和生产的市场发展...

Ionfab 300 IBE 牛津离子束刻蚀机
  • 品牌: 牛津仪器
  • 型号:Ionfab 300 IBE
  • 产地:英国
  • 离子束刻蚀的灵活性、均匀性俱佳且应用范围广。我们的设备具有灵活的硬件选项,包括直开式、单衬底传送模式和盒式对盒式模式。系统配置与实际应用紧密协调,以确保获得速率更快且重复性更好的工艺结果。

PlasmaPro 80 PECVD牛津等离子沉积机
  • 品牌: 牛津仪器
  • 型号:PlasmaPro 80 PECVD
  • 产地:英国
  • · 小尺寸系统——易于安置 · 优化了的电极冷却——衬底温度控制 · 高导通的径向(轴对称)抽气结构—— 确保提升了工艺均匀性和速率 · 增加了<500毫秒的数据记录功能——可追溯腔室和工...

牛津OpAL 开放式样品载入ALD设备
  • 品牌: 牛津仪器
  • 型号:OpAL
  • 产地:英国
  • 紧凑型开放式样品载入原子层沉积(ALD)系统 OpAL提供了专业的热ALD设备,可以简单明了的升级使用等离子体,使得在同一紧凑设备中集成了等离子体和热ALD。

PlasmaPro 80 ICP 英国牛津OXFORD 等离子体刻蚀机
  • 品牌: 牛津仪器
  • 型号:PlasmaPro 80 ICP
  • 产地:英国
  • PlasmaPro 80 ICP是一种结构紧凑、小型且使用方便的直开式系统,可提供多种刻蚀解决方案。 它易于放置,便于使用,且能够确保工艺质量。直开式设计允许快速的进行晶圆装卸,是科学研究、原型设计和...

System 100 等离子刻蚀与沉积设备
  • 品牌: 牛津仪器
  • 型号:PlasmalabSystem 100
  • 产地:英国
  • 该设备是一个灵活和功能强大的等离子体刻蚀和淀积工艺设备。 采用真空进样室进样可进行快速的晶片更换、采用多种工艺气体并扩大了允许的温度范围。 具有工艺灵活性,适用于化合物半导体,光电子学,光子学...

PlasmaPro 80 RIE 牛津等离子体刻蚀机
  • 品牌: 牛津仪器
  • 型号:PlasmaPro 80 RIE
  • 产地:英国
  • PlasmaPro 80 RIE是一种结构紧凑、小尺寸且使用方便的直开式系统,可以提供多种刻蚀和沉积的解决方案。 它易于放置,便于使用,且能确保工艺性能。直开式设计可实现快速晶圆装卸,是研究和小批量生...

PlasmaPro 80 ICPCVD 英国Oxford 牛津等离子沉积机
  • 品牌: 牛津仪器
  • 型号:PlasmaPro 80 ICPCVD
  • 产地:英国
  • PlasmaPro 80 ICPCVD是一种结构紧凑且使用方便的小型直开式系统,可以提供多种刻蚀和沉积的解决方案。 它易于放置,便于使用,且能够确保工艺性能。直开式设计可实现快速晶圆装卸,是科学研究、...

Plasma Stripper (Asher) 等离子去胶机(灰化)
  • 品牌: 牛津仪器
  • 型号:Plasma Stripper (Asher)
  • 产地:英国
  • 。开放式设计,可快速加载和卸载晶圆。 。基片放置在石英上,以避免溅射/再沉积电极材料 。通过顶部电极上的“莲蓬头”进气口将气体注入工艺室 。电感耦合等离子体(ICP)和电极的独立射频发生器提供对...

英国Oxford 反应离子刻蚀机PlasmaPro 800 RIE
  • 品牌: 英国牛津
  • 型号:PlasmaPro 800 RIE
  • 产地:英国
  • 英国Oxford 反应离子刻蚀机PlasmaPro 800 RIE,是结构紧凑、且使用方便的直开式系统,该系统为大批量晶圆和300mm晶圆上的反应离子蚀刻(RIE)工艺提供了灵活的解决方案。大尺寸的晶...

牛津深硅刻蚀系统 PlasmaPro 100 Estrelas
  • 品牌: 牛津仪器
  • 型号:PlasmaPro 100 Estrelas
  • 产地:英国
  • 硬件设计使同一腔室中可进行Bosch™和超低温刻蚀工艺,使得纳米和微米结构刻蚀均可实现; 兼容50mm至200mm的衬底 - 确保您只需一台系统,便具备从研发器件到量产的能力; 自动匹配-拥有工艺...

英国牛津OXFORD 等离子体刻蚀机 PlasmaPro 80 ICP
  • 品牌: 牛津仪器
  • 型号:PlasmaPro 80 ICP
  • 产地:英国
  • PlasmaPro 80 ICP 英国牛津OXFORD 等离子体刻蚀机,是一种结构紧凑、小型且使用方便的直开式系统,可提供多种刻蚀解决方案。 它易于放置,便于使用,且能够确保工艺质量。直开式设计允许快...

System 100 等离子刻蚀与沉积设备
  • 品牌: 牛津仪器
  • 型号:System 100
  • 产地:英国
  • 牛津OXFORD System 100 等离子刻蚀与沉积设备,具有工艺灵活性,适用于化合物半导体,光电子学,光子学,微机电系统和微流体技术。

牛津等离子体刻蚀机 PlasmaPro 80 RIE
  • 品牌: 牛津仪器
  • 型号:PlasmaPro 80 RIE
  • 产地:英国
  • PlasmaPro 80 RIE 牛津等离子体刻蚀机,是一种结构紧凑、小尺寸且使用方便的直开式系统,可以提供多种刻蚀和沉积的解决方案。 它易于放置,便于使用,且能确保工艺性能。直开式设计可实现快速晶圆...

英国Oxford 牛津等离子沉积机
  • 品牌: 牛津仪器
  • 型号:PlasmaPro 80 ICPCVD
  • 产地:英国
  • PlasmaPro 80 ICPCVD 英国Oxford 牛津等离子沉积机,是一种结构紧凑且使用方便的小型直开式系统,可以提供多种刻蚀和沉积的解决方案。 它易于放置,便于使用,且能够确保工艺性能。直开...

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