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ParcanNano百及纳米针尖电子束光刻系统

 
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ParcanNano原子力显微镜(工业型)
  • 品牌: 德国ParcanNano
  • 型号:
  • 产地:德国
  • 顶级自动化功能、测量过程无需激光调节、即插即用式针尖更换方案、快速自动进针, · 针对高深宽比的沟槽或孔洞结构,采用特制的长针尖提供微纳米结构的三维形貌准确测量, · 可升级至多针尖并行...

百及纳米ParcanNano单离子注入系统SII
  • 品牌: 德国ParcanNano
  • 型号:SII
  • 产地:德国
  • 单离子注入系统(纳米级定位单离子注入系统SII):精准确定位定量离子注入 • 针尖悬臂上的小孔小于50nm • 锥形电场稀释和准直离子束 • 横向电场形成离子闸门

百及纳米ParcanNano探针电子束光刻机P-SPL21
  • 品牌: 德国ParcanNano
  • 型号:P-SPL21
  • 产地:德国
  • 百及纳米ParcanNano单针尖电子束扫描系统P-SPL21,采用压阻式微纳米针尖和多维纳米定位与测量技术、在半导体器件材料表面制造尺寸小于5纳米线宽结构的高性能微纳加工系统。可在大气环境下,高经济...

百及纳炫米ParcanNano电子束光刻机(多功能超高精度电子束光刻机P21)
  • 品牌: 德国ParcanNano
  • 型号:P21
  • 产地:德国
  • 电子束光刻机(多功能超高精度电子束光刻机P21),样品尺寸覆盖 2/4/6 英寸晶圆,超高写场拼接精度,电子束闭环控制系统,束流的时间及空间稳定性高,高性能 30 kV 电子束光刻机。

百及纳米ParcanNano原子力显微镜AFM(快捷型)
  • 品牌: 德国ParcanNano
  • 型号:AFM
  • 产地:德国
  • 百及纳米ParcanNano快捷型高速原子力显微镜AFM。它使用主动式智能针尖,集传感器、驱动器和可功能化的针尖于一身,实现自激发和自传感,无需复杂的激光校准,是取代现有AFM激光传感的巨大改进。该系...

ParcanNano百及纳米针尖电子束光刻系统技术资料
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