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德国 Zeiss Sigma

 
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德国Zeiss SEM 电子束直写仪
  • 品牌: 德国蔡司
  • 型号:SIGMA
  • 产地:德国
  • 利用曝光抗蚀剂,采用电子束直接曝光,可在各种衬底材料表面直写各种图形,图形结构(zui小线宽为10mm),是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具。广泛应用于纳米器件,光子晶体,低维半导体等前沿...

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