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德国Zeiss SEM 电子束直写仪
- 品牌:德国蔡司
- 型号: SIGMA
- 产地:德国
- 供应商报价: 面议
- 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 更新时间:2024-03-27 08:51:09
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企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
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- 详细介绍
主要功能:
利用曝光抗蚀剂,采用电子束直接曝光,可在各种衬底材料表面直写各种图形,图形结构(最小线宽为10mm),是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具。广泛应用于纳米器件,光子晶体,低维半导体等前沿领域。
技术指标:
肖特基热场发射电子源
加速电压:100V~30kV
放大倍率:12X~1000,000X
SEM分辨率:1nm@30kV,1.5nm (15kV),2.8nm(1kV)
电子束曝光:10nm(20kV)
场拼接精度:<100nm
扫描频率:6MHz
图形格式:GDSII- 产品优势
- 利用曝光抗蚀剂,采用电子束直接曝光,可在各种衬底材料表面直写各种图形,图形结构(zui小线宽为10mm),是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具。广泛应用于纳米器件,光子晶体,低维半导体等前沿领域。
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