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真空旋转涂膜机

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详细介绍

VTC-100PAH真空旋转涂膜机适用于半导体工艺、晶体、光盘、制版及表面涂覆等工艺,可用于强酸、强碱涂覆溶液。样件固定采用真空吸附方式。使样件取放自如,操作简单。电机启动快速度稳定,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。VTC-100PAH真空旋转涂膜机具有操作简单、清理方便,体积小巧等优点,主要应用于各大专院校、科研院所的实验室中进行薄膜的生成过程。1、真空吸附方式固定样件,操作简便。
2、真空度可以达到-0.08MPa。
3、根据样件规格可以配用不同的吸盘,且更换方便简单。
4、可靠性高,适应性强,维修与保养简单,噪音低,震动小,运转平稳,启动快速稳定,加速后运行平稳,可以保证涂层厚度的一致性和均匀性。
5、采用无油真空泵,体积小巧、结构简单、操作容易、维护方便、不会污染环境等优点。
6、腔体采用聚丙烯材质,使用寿命更长,提高耐化学腐蚀性和优异的抗应力开裂性能;机身采用铸铝结构,结实耐用且质轻。
7、具有真空检测、开盖检测功能,且上盖带有保护锁。
8、具有开盖保护功能,当涂膜过程中或涂膜结束时打开上盖后机器立刻迅速减速直到停止。
9、中/英文可变换操作系统。
10、控制界面采用触摸显示屏,数值显示更直观可靠。

产品名称 VTC-100PAH真空旋转涂膜机
产品型号
VTC-100PAH
安装条件
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:设备配有进出水口
2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地
3、气:不需要
4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上
5、通风装置:需要
主要参数
1、电压:24V 适配器 24V/15A
2、电机功率:300W
3、操作界面:7寸触摸屏
4、速度范围:设定:1500-20000rpm(递增量为:100rpm为单位)
5、程序包含16个运行阶段
6、每段增减速率设置范围:100 rpm s—6000 rpm /s
7、时间范围:1-99s(设定速度范围:1500至10000rpm);
1-60s(设定速度范围:大于10000至20000rpm)。
8、吸盘规格:2英寸, 4英寸
产品规格
尺寸:250mm×340mm×320mm;
重量:12kg

序号 名称 数量 图片链接
1

真空吸盘(含O型圈)

(2英寸和4英寸)

2个

3 滴胶注射器(20ml)
1个
5 无油真空泵
1个
6 适配器24V/15A
1个

序号
名称
功能类别
图片链接
1 其它尺寸的真空吸盘
(可选)

2
国产移液枪
(可选)

3
进口移液枪
(可选)

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