TESCAN SOLARIS 超高分辨双束聚焦扫描电镜(FIB-SEM)
TESCAN SOLARIS 超高分辨氙离子源双束聚焦扫描电镜(FIB-SEM)
TESCAN AMBER X 高分辨氙离子源双束聚焦扫描电镜(FIB-SEM)
TESCAN SOLARIS 双束聚焦扫描电子显微镜FIB-SEM
TESCAN AMBER 双束聚焦扫描电子显微镜 FIB-SEM
主要优势
世界一流的样品制备质量
Orage™ FIB 镜筒采用先进的离子光学设计,在整个电压范围内均可以保证优秀的分辨率,同时还可以提供多种样品制备条件。低电压下的出色性能使得该 FIB 镜筒可以执行最具挑战性的纳米加工任务,它可以在低电压下完成最后抛光并获得小于 20 nm 且具有极高品质的超薄 TEM 样品。
最zui大限度地制备各类样品
Orage™ 镜筒能够产生高达 100 nA 的离子束流,同时保证离子束的质量。因此,无论是在低离子束流下制备精密的纳米结构,还是利用高离子束流以满足大体积蚀刻的要求,Orage™镜筒无与伦比的多功能性都可以满足该类应用需求。
具有极高品质的纳米加工
越来越多的 FIB 应用需要在低电压下完成,Orage™ 镜筒的最低电压可至 500 V,因此可以进行更微量的加工,例如完成 TEM 样品的最终抛光,尽可能减少非晶化。该样品制备方法同样适用于 制备 EBSD 分析的样品,或用于对去层之后完成最终抛光的小于 20 nm 芯片的结构表征。
更充分的利用离子束
快速、高效、高性能的气体注入系统(GIS)对于所有 FIB 应用都是必不可少的。新一代 OptiGIS™ 单支气体注入系统具备了所有的这些特性,TESCAN SOLARIS 可配备多达 3 支 OptiGIS。您也可以选择集成了 5 支同轴喷嘴的气体注入系统,实现更多样化的功能。此外,我们还可以提供不同的特殊气体和实用的平面IC去层方案。
轻松实现最高精度和最佳 FIB 性能
Orage™ 型 FIB 镜筒配有超稳定的高压单元和精确的压电驱动光阑变换器,可在 FIB 预设的参数上快速且高精度的重复切换。 此外,半自动的束斑优化向导允许用户轻松选择最佳的束斑,优化特定应用下的 FIB 条件。
更加优秀的成像能力
新一代 Triglav™ 镜筒中的镜筒内探测器系统经过进一步优化,信号检测效率提高了三倍以上。此外,该系统还扩展了检测能力,能够采集能量过滤后的轴向背散射电子信号,这样就可以通过选择性地收集低损耗背散射电子来获得更好的衬度和表面灵敏度。
增强的表面灵敏度、衬度
新一代Triglav™ 镜筒可以提供的电子信号选择检测功能,这一功能可以帮助用户获得更好的表面灵敏度并能够获得不同的衬度。图像中可以体现形貌或是3材料成分,也可以同时体现这两者,以便用户能够在最短时间内最大限度地观察样品。
快速三维分析功能
新型强化的镜筒内探测系统结合高达 100 nA 的大离子束流,可实现快速数据采集,用于 3D 超微结构研究和 3D 微量分析表征。在 FIB-SEM 层析成像过程中,能够同时获得 EDS 和 EBSD 数据,并通过专用软件进行三维重构,为生命科学或纳米材料研究者提供独特的视角和结果。
保证zui佳的分析条件
新一代 Triglav™镜筒还具有自适应束斑优化功能,可以提高了大束流下的分辨率,这一特点有利于更好的进行 EDS、WDS 和 EBSD 等分析。此外,肖特基场发射电子枪能够产生高达 400 nA 的电子束流,电压也可以快速改变并保证在所有的分析应用下都能够获得良好的信号;在进行大离子束流加工时,也可针对不导电试样进行电荷中和。
大晶圆分析
最优化的 60° 物镜设计和超大样品室,保证在 6” 8” 晶圆的任何位置都能够进行无死角的 SEM 和 FIB 分析。
让复杂的应用变的前所未有的简单
新一代 TESCAN Essence™ 是一款简化的、支持多用户的软件,它的布局管理器可以帮助用户快速、方便地访问所有主要功能。软件界面可自定义,以zui好地适应特定的应用方向,符合不同用户的使用偏好。软件的各种功能模块、向导和应用方案使得无论是入门级用户或是专家级用户都能够轻松顺畅的体验 FIB-SEM 应用,从而提高工作效率,加快样品的处理速度。TESCAN Essence™ 还提供先进的 DrawBeam™ 功能,基于矢量的扫描发生器,用于进行快速精确的 FIB 加工和电子束光刻。
应用案例





报价:¥10000
已咨询840次双束聚焦扫描电镜FIB-SEM
报价:¥10000
已咨询923次双束聚焦扫描电镜FIB-SEM
报价:¥8000000
已咨询483次FIB 聚焦离子束显微镜
报价:¥10000000
已咨询440次FIB 聚焦离子束显微镜
S-4800型高分辨场发射扫描电镜(简称S-4800)为日本日立公司于2002年推出的产品。该电镜的电子发射源为冷场,物镜为半浸没式。在高加速电压(15kV)下,S-4800的二次电子图像分辨率为1 nm,这是目前半浸没式冷场发射扫描电镜所能达到的最高水平。该电镜在低加速电压(1kV)下的二次电子图像分辨率为2nm,这有利于观察绝缘或导电性差的样品。S-4800的主要附件为X射线能谱仪。
二手 日立 SEM+EDX 冷场电镜SU8000系列高分辨场发射扫描电镜,其中SU8020不光1kv的分辨率提升到1.3nm,并且在探测器设计上有新的突破,配置了Lower、Up-per和Top三个Everhart-Thornley型探测器,可以接受SE、LA-BSE和HA-BSE多种信号,实现微区的形貌衬度、原子序数衬度、结晶衬度和电位衬度的观测;结合选配的STEM探测器。
日立SU-8010是日立高新技术的SEM的全新品牌,新品牌 "REGULUS系列" 电子光学系统进行了最优化处理,使得着陆电压在1KV时分辨率较前代机型提高了约20%。另外,最适合低加速电压下高分辨观察的冷场电子枪可将样品的细节放大,并获得高质量的图片。最大放大倍率也由之前的100万倍提高到了800万倍。除此之外,为了能更好的应对不同样品的测试和保持并发挥出高性能,还对用户辅助工能进行了强化。
日本电子扫描电镜JSM-IT300型是一款高性能,多功能,多用途的钨灯丝扫描电镜。颠覆性的前卫性外观设计还特别吸引眼球。操作改为触摸屏控制,简单化,从此操作电镜非常只能化。
扫描电子显微镜主要用于观察物体的表面形貌像,除此意外,如果配备能谱分析系统,在进行获得样品表面像的时候,还可以对样品的某个定点位置进行元素的半定量分析。根据EDS分析出的元素比例,进行拟合处理,可以大概的判断出样品是什么类型的样品。
SU3900/SU3800 SE系列作为FE-SEM产品,配置超高分辨率与观察能力。此系列突破了传统SEM产品受安装样品尺寸与重量的限制,通过简单的操作即可实现数据采集。可用于钢铁等工业材料,汽车、航空航天部件等超大、超重样品的观察。 此外,SE系列包括4种型号(两种类型,两个等级),满足众多领域的测试需求。用户可以根据实际用途(如微观结构控制:用于改善电子元件、半导体等材料的功能和性能;异物、缺陷分析:用于提高产品品质)选择适合的产品。
德国Zeiss 场发射电子显微镜SIGMA 300 ,ZLGemini镜筒,超高的束流稳定性,超高的束流稳定性,zhuo越的低电压性能,In Lens 探测器,磁性材料高分辨观察,ding级X射线分析设计,便越操作系统设计,超大空间,多接口,升级灵活。
德Zeiss 电子束直写仪 Sigma SEM,利用曝光抗蚀剂,采用电子束直接曝光,可在各种衬底材料表面直写各种图形,图形结构(Z小线宽为10nm),是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具。广泛应用于纳米器件,光子晶体,低维半导体等前沿领域。