镭测科技推出的镭测科技激光干涉仪LS600单频激光干涉仪采用单频测量技术,拥有自主知识产权,技术指标达到或优于国外产品同等水平。通过与不同的光学组件结合,可实现对线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何量的检测,是高精度线性位移测量、数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准的高效率量测工具。
系统组成:
LS600单频激光头及附件
LC-2000环境补偿单元
Leice Measure测量软件、Leice Analysis 分析软件
线性位移测量镜组(选配:角度、直线度、垂直度、平面度测量镜组等)
光学调整附件
三脚架及其他测量附件
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高灵敏度,不需要靶镜,非接触式测量 可测的微、小、轻、薄、黑、透、易变形、热表面 对被测物表面反射率无严格要求,可测“黑”表面 采用激光自干涉原理,测量结果可溯源 无外部光学器件,操作灵活方便 可非接触测量物体的位移、振动,以及材料膨胀系数等。
专为机床测校用户开发通用型高精度激光干涉仪 采用单频激光测量,双纵模热稳频技术 紧凑设计,适合外出服务携带 自动环境补偿,不同温度、湿度、压力环境中也能精确检测 直观的测量及分析软件,轻松完成各种复杂的机床检测工作
采用双频激光,测量精度高 紧凑设计,适合外出服务携带 抗干扰能力强,大型机床长距离检测时也能保证稳定精准 自动环境补偿,不同温度、湿度、压力环境中也能精确检测 符合测校国家标准的测量分析软件 自动生成测量数据报表和误差校正补偿文件。 典型频差7±0.5MHz,测速高达2m/s。
满足计量检测用户更稳定、更高精度、更便利的使用要求;双频激光干涉仪
专为光刻机配套开发的高精度测量系统;双频激光干涉仪,进口设备转国产化的优选产品