Thermo Scientific™ uPolisher

产品介绍：

Thermo Scientific™ μPolisher 系统是一种独特的解决方案，适用于原位、较低能量的局部表面修饰，包括抛光和清洗散装样品。系统使用带可调节能量和各种离子电流的静态气体 Ar+ 离子束，以确保在各种应用中进行温和的表面抛光。

关键优势

• 可支持大量新型未经探索的应用的独特解决方案

• 使用静态离子束进行低能清洗 (20 - 500eV)，适用于大多数温和的表面抛光

• 原位 SEM/DualBeam 解决方案，允许在清洁后实验，而无需破坏真空

• 小光斑尺寸适用于精确的局部表面处理，无需重新沉积

• 广泛的操作条件，适用于各种应用

• 完全集成于本款显微镜的用户界面，操作简单直观

潜在应用

• 低耗损清洗

• 去除氧化层

• 碳氢化合物表面清洁

• 去除 Ga 污染

• FIB 处理后损伤层减少