IONOPTIKA C60-40 离子源系统

产品介绍：

C60-40是目前性能较高的C60光束，具有300纳米的光斑尺寸 和高达1毫安的束流。 从生物医学应用到聚合物科学和冶金，C60-40都可以做到这 一点。得益于与其他C60离子束相同的均匀溅射，但由于更高 的束能量，C60-40具有难以置信的精细斑点和更高的蚀刻 率，是一种用于广泛应用的极其强大的分析工具。 C60-40是一款出色的全能型产品，Ionoptika销售的每台J105 SIMS仪器中都包含C60-40。

下图显示了C60-40在正离子模式下获得的半导体堆栈的3D SIMS图像。样品由InSb、Al和GaAs层组成，覆盖在保护性光 刻胶层中。 这种软有机、无机和硬金属层的结合对于大多数其他离子束 来说是极其困难的。C60-40是这一棘手应用的理想选择，因 为它在不同材料上具有一致的溅射速率。C60-40与300 nm的 光斑尺寸相结合，是一种强大的光束，无论您使用何种类型 的样品，都能在2D和3D中提供较高分辨率。