IONOPTIKA GCIB10S 离子源系统

产品介绍：

GCIB10S是一种高性能10千伏气体团簇离子束，用于快 速、低损伤溅射和更高质量的表面分析。 GCIB 10S提供了大量有用的功能，包括实时集群大小测 量和内置样本电流成像系统，以帮助您充分利用实验。 GCIB 10S具有完整的泵送系统和单独软件，是一种栓接式 升级，将集束束溅射的力量引入现有的真空仪器，如 XPS、SEM和SIMS。

GCIB 10S可去除不定碳和其他表面污染，而不会损坏基材， 同时还可对有机物和聚合物等软材料进行无损伤深度剖析。 下图显示了分别使用Ar1和Ar2000蚀刻原始PET表面前后的C 1s 峰值。数据清楚地显示了单原子Ar1束（红色）造成的化学损 伤，而光谱在暴露于Ar2000束（蓝色）后几乎保持不变。

• 10kV氩团簇离子源，可选择Ar1至 >Ar3000的团簇。 

• 实时集群测量和调整。

• 采样电流成像。 

• 光斑尺寸大，扫描范围宽，可均匀去 除材料。

• 易于安装在许多高真空仪器上。 

• 单独软件和基于web套接字的API，用 于与第三方软件集成。