IONOPTIKA GCIB-70 离子源系统
IONOPTIKA GCIB-40 离子源系统
IONOPTIKA GCIB10S 离子源系统
IONOPTIKA C60-40 离子源系统
IONOPTIKA C60-20 离子源系统
简介：
C60-20S是一种高性能离子束，设计用于溅射表面，具有较小的损伤和减少的沿周溅射效应。
C60-20S在高达20 kV的电压下工作，可有效地溅射材料，且损伤较小，无需重新沉积碳。
C60是XPS、AES和SIMS的理想升级组件，可在多种材料上均匀溅射。
主要参数：
| 主要应用 | 溅射 |
| 光斑尺寸 | 100 µm |
| 扫描范围 | 4 x 4 mm |
| 能耗范围 | 5 – 20 kV |
| 电流范围 | 50 nA |
| 法兰至机头长度 | 142 mm |
| 推荐工作距离 | 50 mm |
| 电源装置 | 3U x 19’’ rack mountable unit |
| 电源要求 | 110-240VAC 13A 50/60Hz |
| 软件要求 | PC running Windows 10 or later |
| 集成法兰规格 | NW 63 CF |
特点:
◇ 电流密度高，蚀刻速度更快；
◇ 与单原子束相比，可减少化学损伤；
◇ 不同材料和晶体取向的溅射率一致；
◇ 闸阀，便于快速维修；
◇ 源寿命长；
应用领域：
◇ 聚合物的高速、低化学损伤蚀刻；
◇ C60离子溅射的速度比单原子束(包括氩和氙)快50倍，同时 对底层材料造成的损害要小得多；
◇ 下图比较了15kev的C60溅射产率与15kev金、氙镓和氩的TRIM数据。在相反的例子中，用C60和单原子氩离子束溅 射清洗PTFE薄膜；
◇ 虽然两种离子束都去除了表面污染，但只有C60离子束的表 面化学性质没有发生变化； 
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完善的射频和离子源控制系统；快速达到放电稳定状态（10s以内）；中和器快速稳定（3s以内）；在导轨上移动，移动距离大于3米；法兰安装方便；配射频中和器。
北京华纳微科技有限公司自我研发的国产离子源型号LBT87150完全替代进口FEI17135离子源，保证使用寿命超过1000小时，另有配套的拔出极和抑制极以及光阑等都可以在FEI的FIB上替代进口产品使用，经客户反馈使用效果佳，性价比良好。华纳微自主研发的扫描电镜扫描速率可以达到200M每秒，是普通SEM的10倍。同时经营二手场发射扫描电子显微镜、二手电镜、二手FIB、二手SEM、二手FEM等，专业维修FEI电镜、维修ZEISS电镜等。
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