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瑞典Mycronic 掩膜计量系统Prexision-MMS
- 品牌:瑞典Mycronic
- 型号: Prexision-MMS
- 产地:欧洲 瑞典
- 供应商报价:面议
- 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 更新时间:2024-08-17 10:19:23
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销售范围售全国
入驻年限第6年
营业执照已审核
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产品特点
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掩膜计量系统
证明您的质量
为了说明产品是符合规范的,您必须证明激光掩膜上的图形能够在制造显示屏时恰当地对齐。为了实现这一点,您需要比光刻机精度更高的测量设备。
主要优势
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*更好地将掩膜套合到掩膜上 20%
*更短的周转时间30%
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基于最精确的Prexision平台打造出的Prexision-MMS将对大面积的配准测量带到了全新的高度。现在,您可以证明您的光掩膜质量究竟有多好了!为充分利用其性能,您的测量系统性能对于精密调校光刻机也是极其重要的,这样您的光掩膜才能以zui高的质量描绘出来。
Prexision-MMS 提供两个型号。G8 型zui高可处理用于 8 代显示器玻璃尺寸的掩模尺寸。对于 G10 型,zui高可处理 11 代显示器尺寸。
技术指标Prexision-MMS
掩膜对掩膜套合3σ[nm]
40
配准3σ[nm]
65
关键尺寸可重复性3σ[nm]
50
最大尺寸
G8