GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪

GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪是依据二极（DC）直流溅射原理设计而成的最简单、可靠、经济的镀膜设备。本机特别之处是在一个真空室内安装了三个靶，旋转样品台可依次在同一样品上涂覆三种材料。因此，适用于实验室各种复合膜样品的制备，以及非导体材料实验电极的制作。

主要特点

1、设有真空表、溅射电流表，可实时监控工作状态。

2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀，控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体，以获得**镀膜效

果。

3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计，可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。

4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。

5、根据电场中气体电离特性，采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层更均匀纯净。

6、已通过CE认证。

技术参数

1、靶：Φ45mm

2、真空室：Φ160mm×120mm

3、最高真空度：≤4×10^-2mbar

4、靶位：3个

5、最大电流：50mA

6、可设定最长时间：900s

7、微型真空气阀：连接Φ3mm软管

8、最高电压： 1600V DC

9、机械泵：2L/s

标准配件

1、金靶材

2、银靶材

3、铝靶材

4、进气针阀

5、保险丝

可选配件

金、铟、银、铂等各种靶材