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电浆辅助化学气相沉积系统(PECVD)
- 品牌：毅睿/芯壹方
- 型号： 定制 详情15345079037
- 产地：福建 厦门
- 供应商报价：面议
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厦门毅睿科技有限公司
更新时间：2025-02-17 14:25:22 -
销售范围售全国
入驻年限第1年
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- 同类产品真空镀膜系统(24件)
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详细介绍
电浆辅助化学气相沉积系统(PECVD)
Plasma - Enhanced Chemical Vapor Deposition
●基板尺寸:10x10cm或其他尺寸
●溅镀源:13.56 MHz RF 或2.45 GHz 微波
●基板加温:Max.800℃
●自动制程
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沪公网安备 31011502008050号