俄歇电子能谱俄歇电子能谱(简称AES),是一种表面科学和材料科学的分析技术。因此技术主要借由俄歇效应进行分析而命名之。这种效应系产生于受激发的原子的外层电子跳至低能阶所放出的能量被其他外层电子吸收而使后者逃脱离开原子,这一连串事件称为俄歇效应,而逃脱出来的电子称为俄歇电子。俄歇能谱仪包括电子光学系统、电子能量分析器、样品安放系统、离子枪、超高真空系统。
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PHI 710 AES 扫描俄歇纳米探针
- 品牌:日本Ulvac-Phi
- 型号: PHI 710
- 产地:日本
PHI公司的PHI710扫描俄歇纳米探针是一台设计独特的高性能的俄歇电子能谱(AES)仪器。该设备能分析纳米级特征区域,超薄薄膜和多层结构表界面的元素态和化学态信息。作为高空间分辨率,高灵敏度和高能量分辨率的俄歇电子能谱仪, PHI 710可以为用户提供纳米尺度方面的各种分析需求。 PHI710主要特点:● SEM分辨率≤ 3 nm, AES分辨率≤ 8 nm在俄歇能谱的采集分析过程中,包括谱图,深度剖析及元素分布像,需要先在SEM图像上定义样品分析区域,必然要
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俄歇电子能谱分析器
- 品牌:美国RBD Instruments
- 型号: -
- 产地:美国
※ 主要应用于薄膜成分、半导体和金属中的氧化物分析、集 成电路污染 溅射层的表征、沉积层深度剖面等领域,并 实现各种材料催化、吸附、腐蚀及磨损等方面的研究。 ※ 紧凑型设计。 ※ 柱面镜分析仪的二阶聚焦提供了良好的传输和分辨率。 ※ 易于使用,USB通信接口便于数据获取和分析。 ※ 3kV 共轴电子枪,使用CeBix 灯丝,提供大电流密度,便 于信号分析。 ※ 反应离子刻蚀。
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