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俄歇电子能谱,英文名Auger electron spectroscopy,AES是它的简称,是一种材料科学与表面科学的分析技术。俄歇电子能谱之所以如此命名是因为该技术主要通过俄歇效应进行分析。其他外层电子吸收受激发的原子的外层电子跳到低能阶所放出的能量从而使其从原子逃脱离开,这一连串事件叫做俄歇效应,俄歇电子则为逃脱出来的电子。
能量公式
对于原子序数为Z的原子,能够使用下面经验公式来计算俄歇电子的能量:
EWXY(Z)=EW(Z)-EX(Z)-EY(Z+ Δ)-Φ
在公式当中,Y电子电离所需的能量用EY(Z+Δ)来表示;X电子填充W空穴时释放的能量用EW(Z)-EX(Z)来表示;原子序数为Z的原子,W空穴被X电子填充得到的俄歇电子Y的能量用EWXY(Z)来表示。
由于Y电子是在已经有一个空穴的情况下电离的,所以该电离能和原子序数为Z和Z 1之间的原子的电离能差不多。其中Δ=1/2-1/3。各俄歇电子的能量能够按照式(10.6)和各元素的电子电离能计算出来,将谱图手册制成。所以只要将俄歇电子的能量测定出来,和现有的俄歇电子能量图表相对照,就能够使样品表面的成份得以确定。
因为一次电子束能量要比原子内层轨道的能量高出许多,能够将多个内层电子激发出,会有多种俄歇跃迁产生,所以会有多组俄歇峰在俄歇电子能谱图上。尽管会使得定性分析变得复杂,然而凭借多个俄歇峰,会使定性分析具有非常高的准确性,能够使除氢氦之外的多元素一次定性分析进行,与此同时,元素的半定量分析还能够通过俄歇电子的强度和样品中原子浓度的线性关系进行。俄歇电子能谱法为一种具有非常高灵敏度的表面分析方法。1.0-3.0纳米为其信息深度。jue对灵敏度能够达到10-3单原子层。作为一种分析方法,其非常的有用。
还可以利用俄歇电子的强度和样品中原子浓度的线性关系,进行元素的半定量分析,俄歇电子能谱法是一种灵敏度很高的表面分析方法。其信息深度为1.0-3.0纳米,jue对灵敏可达到10-3单原子层。是一种很有用的分析方法。
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