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等离子辉光

天津中环电炉股份有限公司更新于：2015-03-13

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天津市中环实验电炉有限公司--二十年的专注；新材料烧结专家长期生产实验电炉有管式炉马弗炉石墨烯管式炉PECVD系统等实验室设备PECVD系统在辉光放电条件下，由于硅烷等离子体中的电子具有几个ev 以上的能量，因此H2和SiH4受电子的碰撞会发生分解，此类利用PECVD系统反应属于初级反应若不考虑射频分解时的中间激发态，可以得到如下一些生成SiHm（m=0,1,2,3）与原子H 的离解反应：按照基态分子的标准生产热计算，上述各离解过程(2.1)~(2.5)所需的能量依次为2.14.14.45.9eV 和4.5eV 在产学研结合发展的过程中我们欢迎有志之士的加入天津市中环实验电炉有限公司，网址WWW.CTJZH.COM；电话400-022-1116 http://www.ctjzh.com/news/2015/0312/558.html 旋转管式炉

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