用户论文：纳米硅薄膜界面结构的微观特征

全文请访问：http://www.spm.com.cn/papers/p84.pdf
对使用等离子体增强化学汽相沉积法（PECVD）制备的纳米硅薄膜（nc－Si:H），使用HREM及STM技术观测了其显微结构，给出大量的界面结构图像S次获得有关晶粒及界面区中原子的分布情况使我们认识到nc－Si:H膜中界面区内的硅原子仍然是具有短程有序性并不是完全无序的 全文请访问：http://www.spm.com.cn/papers/p84.pdf 扫描探针显微镜(SPM/AFM/STM)