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利用扫描隧道显微镜（Scanning Tunne领 Microscope,简称STM）对纳米硅薄膜在纳米尺度上的表面微观形貌进行了研究，结合分形理论，计算出样品表面形貌的分形维数D，从而得出D与有关样品微结构参数之间的关系STM结合图像处理和傅利叶分析法可以很好地研究薄膜材料表面形貌的分形特征纳米硅薄膜的表面在纳米尺度上是微观形貌呈现出分形特征 全文请访问：http://www.spm.com.cn/papers/p79.pdf 扫描探针显微镜(SPM/AFM/STM)

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