薄膜厚度的测量

概要 薄膜测量系统是基于白光干涉的原理来确定光学薄膜的厚度白光干涉图样通过数学函数被计算出薄膜厚度对于单层膜来说，如果已知薄膜介质的n和k值就可以计算出它的物理厚度附着在基底上的薄膜就如同一个标准具，当观察其表面的反射率时会看到一幅干涉条纹图样当组合不同折射率的材料时，条纹间隔的正弦曲线分布可以用来计算此薄膜的厚度薄膜测量广泛应用于半导体晶片生产工业，此时需要监控等离子刻蚀和沉积加工过程还可以用于其它需要测量在金属和玻璃基底上镀制透明膜层的领域其他领域中，金属表面的透明涂层和玻璃衬底也需要严格测量 USB2000+光纤光谱仪 美国海洋光学 Maya2000-Pro紫外可见光纤光谱仪 －美国海洋光学 QE65000-ABS紫外可见光纤光谱仪-美国海洋光学 TMS透过率/透光率测试仪 球面光学元件显微检测仪Sphere-3000 Planum-3000全自动光学元件光谱分析仪 405nm激光诱导荧光系统