跨尺度微纳加工技术发展趋势

跨尺度微纳加工技术是指加工形成的部件或结构本身的尺寸在微米或纳米量级，正是微纳米加工技术的发展促进了集成电路的发展,导致集成电路的集成度以每18个月翻一番的速度提高。

跨尺度微纳加工技术发展趋势

●就集成电路开发而言，将电路尺寸做得越来越小始终是工业界不懈追求的目标.

●纳米电子器件与分子电子器件都对加工技术的能力提出了更高的要求.

微系统技术，包括微电子机械，微流体，微光学系统,为微纳米加工技术的发展开辟了广阔的天地.

微系统加工面临的一一个严峻的挑战是如何与集成电路加工工艺兼容，以实现与集成电路的完全集成.

微系统加工L面临的另一个严峻的挑战是如何实现标准化加工.微系统加工技术的多样化与微系统本身的多样化造成了标准化生产的极大难度

结论

●(1)中国微纳米技术的发展己步入了一个健康的轨道，正在蓬勃发展。

●(2)微纳米器件加工方法的原理等基本能与国外对接，但微系统设计与工艺软件仍被国外所占据。有待开发中国自己的软件。

(3)微纳米技术和生物医学技术的结合是一个重要方向，开发新型的高灵敏度生化微纳传感器成为未来的研究热点。