霍尔离子源控制器成功替换取代Commonwealth控制器

伯东公司为 Kaufman & Robinson, Inc (美国考夫曼公司) 大中国区总代理.

美国考夫曼公司 KRI 霍尔离子源控制器已成功替换取代 Veeco Commonwealth 控制器, 完全不需更改任何镀膜机计算机程序及相关设定即可直接运做.

KRi (考夫曼) 霍尔源控制器有全自动控制器 (Auto Controller), 灯丝控制器 (Filament Controller),阳极控制器 (Discharge Controller), 运作时选择全自动匹配 (Auto Gas), 半自动 (Manual Gas) 匹配及全手动匹配 (Gas Only) 三种操作选项. 在全自动逼配模式自动控制器依照客户所设定之阳极电流 (Vd) 及阳极电压 (ID) 自动调整气体以维持工艺所需要的离子束能量. 全自动控制器可以记忆四组离子参数, 工艺中更换参数组别时可以在离子束点火中直接切换参数组别, 不需重新熄火做点燃离子束, 以达到Z稳定的离子束状 态.

实际案例:

1. 设备: 1.3 米镀膜机.

2. 基材: 塑料护目镜.

3. 离子源条件: Vb:140V(离子束阳极电压), Ib:2.5(离子束阳极电流), O2 gas: 9sccm(氧气).

4. 图片:

上海伯东是美国考夫曼离子源 Kaufman & Robinson, Inc 中国总代理. 美国 KRI 霍尔离子源全自动匹配, 四组参数记忆, 可同时控制四种气体流量的设计, 可以提供更方便的操做及获得更稳定的离子束.可以完全替换 Veeco, Commonwealth, 国产霍尔离子源控制器.

KRI 霍尔离子源控制器 (End Hall Controller) 型号: 全自动控器 (Auto controller), 灯丝控制器(Filament Controller), 阳极控制器 (Discharge Controller)

上海伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.

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