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蓝岸探针台M系列M-300特点

来源:似空科学仪器(上海)有限公司 更新时间:2025-12-16 08:00:27 阅读量:39
导读:它在微纳米样品表征、器件探针连接、材料表面分析等场景中,提供稳定、可重复的定位和高效的数据采集能力。

蓝岸探针台 M 系列中的 M-300 是为实验室、科研机构及工业现场定制的高性价比定位平台,聚焦高刚性结构、低温控漂移和灵活的接口扩展。它在微纳米样品表征、器件探针连接、材料表面分析等场景中,提供稳定、可重复的定位和高效的数据采集能力。


核心参数与型号对比(典型配置,实际以出厂规格书为准)


  • 型号:M-300 标准版
  • XY 行程:50 mm × 50 mm
  • 坐标分辨率:0.1 μm
  • 重复定位精度:±0.5 μm
  • 最大载荷:≤2 kg
  • 温控范围:室温至 60°C
  • 温控稳定性:±0.1°C
  • 驱动方式:混合式(压电主驱动,微调为步进补偿)
  • 控制接口:USB 3.0、Ethernet、GPIB
  • 兼容夹具:标准 25 mm 安装夹具,支持多探针夹具
  • 振动与噪声:低频主动+被动隔振
  • 尺寸重量:约 600 × 450 × 360 mm,重量约 38 kg
  • 电源规格:100–240 V ~ 50/60 Hz
  • 版本差异要点(用于选型时快速对比)
  • 高精度版(如 M-301):行程可扩展至 80 mm × 80 mm,分辨率可达 0.05 μm,重复精度更高
  • 高载荷版(如 M-302):载荷上限提升,适合较重的探针夹具和样品托盘
  • 温控扩展版:可选更广温区和更精准的温控控制
  • 配件与扩展
  • 真空腔体选件、光学对位摄像头、双探针并联控制卡
  • 与显微镜系统的对接接口,支持外部控制软件 API

主要特点与优势


  • 高刚性结构:降低热涨落与机械漂移,提升长期稳定性,适合低漂移测量
  • 精密定位与快速对位:0.1 μm 级分辨率,快速初定位后以微调实现高重复性
  • 灵活的控制与集成:多接口(USB、Ethernet、GPIB),可与常用控制软件、脚本化编程无缝对接
  • 兼容性与扩展性:标准 25 mm 探针夹具接口,易于替换不同探针与样品台
  • 场景友好:支持室温至高温场景、有限的湿度控制需求,便于在半导体、材料科学等领域落地

适用场景简述


  • 半导体器件与晶圆探针测试、微纳米结构的电性/光学表征
  • MEMS、纳米材料研究中的高精度定位与探针接触
  • 光子器件、二维材料表面探针显微或热电测量场景
  • 生产线前端的快速工艺对位与缺陷定位,提升良率分析效率

维护与保养要点


  • 定期检查驱动与线缆连接,确保联接稳固
  • 保持工作台无尘并定期清洁导轨、滑块,避免颗粒污染
  • 定期进行温控系统自检,确保温控稳定性维持 ±0.1°C 级别
  • 软件与固件更新遵循厂商发布流程,避免自定义改动影响测量稳定性

场景化FAQ


  • M-300 适用于哪些探针或样品?适配大多数微米级探针,尤其是需要高定位重复性的样品,如金属纳米线、电极阵列、薄膜材料与 MEMS 结构。若样品较重或夹具体积较大,请考量高载荷版本或定制夹具方案。
  • 如何选择合适的行程与分辨率?若要覆盖更大样本区或进行多点对位,考虑 80 mm × 80 mm 的行程和 0.05 μm 的分辨率版本;若以紧凑台面和快速对位为主,50 mm × 50 mm 的分辨率 0.1 μm 已能满足多数日常需求。
  • 与显微镜系统的对接要点?优先选用具备标准接口的控制端口,确保 GPIB/USB/Ethernet 的兼容性;若需自动对位,可选带光学对位摄像头的扩展包,并确保软件层能读出坐标系映射关系。
  • 软件与数据接口支持如何?支持主流实验室控制软件及脚本语言的 API,便于集成自动化测试流程;若已有自有控制系统,需确认以太网/USB 协议与探针台的命令集兼容性。
  • 维护成本与售后服务?厂家通常提供现场培训、固件升级、以及首年保养服务,建议签署年度维护协议以确保定位精度与系统稳定性。

以上内容以 M-300 为核心的通用规格与应用要点为主,实际出厂参数以官方规格书为准。若需要,我可以根据贵单位的具体实验场景(样品类型、探针数量、对位深度、温控要求等)给出更的选型清单与报价区间。


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