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旋涂基片尺寸太厚怎么办?

来源:武汉迈可诺科技有限公司 更新时间:2018-01-24 16:39:19 阅读量:760

问题:

      我们使用的基片厚度一般为7mm左右,资料里说只能是0.1-1.0 mm,我们的片子能否达到应有的转速及稳定性能?高速旋转下,气爪能否卡牢?

回复:

       一般我们需要详细了解您的7mm基底的尺寸和材质以及由此所决定的重量。重量超出额定负载范围太多,有可能导致马达的旋转精度被损伤,那样的话就很麻烦,必须要返回原厂校准。对于400B-6NPP/Lite来说,我们用以参考基底材料是150mm的直径,1mm的厚度的标准晶圆片。

如果您确实需要旋涂基底确实很厚重,需要选择HPD高性能的马达。总之请详细说明您的7mm基底的尺寸,材质和重量,我们才能给您推荐配置。


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