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Ekspla公司FemtoLux系列工业级飞秒激光器介绍(二)技术规格

来源:北京欧兰科技发展有限公司 更新时间:2026-03-13 13:30:32 阅读量:60
导读:FemtoLux 从一开始就以高可靠性、无缝集成以及全年24/7/365 不间断、零维护运行为设计目标,并采用创新的“干式”冷却技术。丰富的配置选项使这款超快激光器能够根据不同的材料加工任务进行优化定制。本文介绍该款激光器的技术规格

技术规格(Specifications)

型号
FemtoLux 30
FemtoLux 50
FemtoLux HE
主要参数1



中心波长
1030 nm
1030 nm
1030 nm
激光脉冲重复频率(PRR)2
200 kHz – 2 MHz(可选 4 MHz)
100 kHz – 2 MHz(可选 4 MHz)
10 kHz – 1 MHz
脉冲选择器 PRR
激光 PRR / N,N = 1,2,3…65000;支持单发
同左
同左
最大平均输出功率3
≥ 30 W
≥ 45 W(典型 50 W)
≥ 30 W
脉冲能量?
≥ 100 μJ(可选 300 μJ)
≥ 250 μJ(典型 300 μJ)
1 mJ
功率长期稳定性(标准偏差)?
< 0.5 %
< 0.5 %
< 0.5 %
脉冲能量稳定性(标准偏差)?
< 1 %
< 1 %
< 1 %
脉冲持续时间(FWHM)@1 MHz?
< 400 fs – 1 ps
< 400 fs – 1 ps
< 400 fs – 1 ps
MHz 脉冲串中脉冲数?
2 – 10
2 – 10
2 – 10
脉冲串模式总能量?
> 450 μJ
> 750 μJ
2 mJ
光束质量
M2 < 1.2(典型 < 1.1)
M2 < 1.2(典型 < 1.1)
M2 < 1.3
光束椭圆度(远场)
0.85(典型 ≥ 0.9)
0.85(典型 ≥ 0.9)
0.85(典型 ≥ 0.9)
光束发散角(全角)
< 1 mrad
< 1 mrad
< 1 mrad
光束指向热稳定性
< 20 μrad/°C
< 20 μrad/°C
< 20 μrad/°C
光束直径(1/e2)
2.5 ± 0.4 mm @ 65 cm
2.5 ± 0.4 mm @ 65 cm
2.5 ± 0.4 mm @ 65 cm
偏振方向
垂直
垂直
垂直
同步模式
内部 / 外部
内部 / 外部
内部 / 外部
脉冲输出控制
频率分频、脉冲选择器、脉冲串模式、数据包触发、功率衰减、按需脉冲(PoD)
同左
同左
控制接口
RS232 / LAN
RS232 / LAN
RS232 / LAN
连接电缆长度
3 m,可拆卸
3 m,可拆卸
3 m,可拆卸
激光头冷却方式
干式冷却(通过可拆卸冷却板进行制冷剂直接冷却),可选水冷
同左
同左

物理特性

参数
FemtoLux 30
FemtoLux 50
FemtoLux HE
激光头尺寸(宽×长×高)
434 × 569 × 150 mm
434 × 569 × 150 mm
434 × 569 × 150 mm
电源模块尺寸(宽×长×高)
483 × 534 × 184 mm
483 × 534 × 184 mm
483 × 534 × 184 mm

工作条件

参数
数值
电源要求
100 – 240 V AC,单相,50/60 Hz
最大功率消耗
1000 W
工作环境温度
18 – 27 °C
相对湿度
10 – 80 %(无冷凝)
空气洁净度
ISO 9(普通室内空气)或更高
  1. 由于产品持续改进,所有技术规格可能在不另行通知的情况下进行更改。标注为 “典型值(typical)” 的参数并非正式规格,仅表示典型性能表现,实际性能会因每台设备而有所差异。所有参数均在最短脉冲持续时间条件下给出。除非另有说明,所有规格均在 1030 nm 波长、且在无可选模块的基础系统配置下测量。

  2. 当频率分频器设置为传输每一个脉冲时,系统可通过集成的 AOM(声光调制器)进行完全控制。

  3. 在1 MHz 条件下测量。关于功率与激光脉冲重复频率之间的关系,请参见FemtoLux 系列激光器的功率-重复频率曲线图。

  4. 对于FemtoLux 30:

  • 在 50 kHz 时最大脉冲能量为 300 μJ

  • 标准能量为 100 μJ @ 200 kHz

5. 功率稳定性数据为设备预热后在恒定环境条件下运行 100 小时以上测得。

6. 脉冲能量稳定性在恒定环境条件下测量。

7. 不同重复频率下的典型脉冲宽度请参见相关曲线图。

8. 振荡器频率约 50 MHz,脉冲间隔约 20 ns

9. 适用于 MHz 脉冲串模式或 MHz + GHz 复合脉冲串模式,当 PRR 为 50 kHz 时;对于 FemtoLux HE 型号,对应 PRR 为 10 kHz

谐波模块(Harmonics modules)

参数
515 nm
343 nm
主要参数12


脉冲能量3
50 μJ
30 μJ
平均功率
最高 25 W
最高 10 W
光束质量
M2 < 1.2
M2 < 1.3
光束椭圆度(远场)
> 0.85
> 0.85
光束发散角
< 0.7 mrad
< 0.5 mrad
光束直径(1/e2)
2.2 ± 0.4 mm @ 30 cm
2.4 ± 0.4 mm @ 30 cm

带谐波模块的激光头尺寸

434 × 747 × 158 mm


  1. 由于产品持续改进,所有技术规格可能在不另行通知的情况下进行更改
    标注为 “典型值(typical)” 的参数并非正式规格,仅用于表示典型性能表现,实际性能会因每台设备而有所不同。所有参数均在最短脉冲持续时间条件下给出。

  2. 谐波模块是在最短脉冲持续时间和100 μJ 脉冲能量条件下进行优化的。如果需要针对不同脉冲持续时间或脉冲能量进行优化,请联系info@oplanchina.com。

  3. 有关FemtoLux 系列激光器功率与脉冲重复频率之间关系,请参阅相关曲线图。


GHz 脉冲串选件(GHz Burst Option)

参数
数值
激光脉冲重复频率(PRR)
最高 500 kHz
脉冲串内部重复频率2
2 ± 0.25 GHz

GHz 脉冲串模式

参数
短脉冲串
长脉冲串
脉冲串长度
0.5 – 10 ns
20 – 500 ns
脉冲数量3
2 – 20
40 – 1000
形状
方形、上升、下降
下降、预设形状3

MHz + GHz 复合脉冲串模式

参数
数值
MHz 脉冲串中脉冲数
2 – 10
GHz 脉冲串中脉冲数?
2 – 20

  1. 由于产品持续改进,所有技术规格可能在不另行通知的情况下进行更改。标注为 

“典型值(typical)” 的参数并非正式规格,仅用于表示典型性能表现,实际性能会因每台设备而有所不同。所有参数均在最短脉冲持续时间条件下给出。

2. 脉冲内部重复频率(intra-pulse PRR)可以根据客户需求进行定制配置

3. 具体性能参数取决于所设置的脉冲内部重复频率

4. 如需更多信息,请联系 info@oplanchina.com。

未完待续,敬请期待下篇“Ekspla公司FemtoLux系列工业级飞秒激光器介绍(三)可选组件性能的详细介绍
如果您对该产品感兴趣,敬请联系北京欧兰光视科技有限公司。



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