Ekspla公司FemtoLux系列工业级飞秒激光器介绍（一）系统概述

特性

在 1030 nm 波长下

• 典型最大输出功率：50 W

• 典型最大单脉冲能量：> 300 μJ

在 515 nm 波长下

• 典型最大输出功率：20 W

• 典型最大单脉冲能量：> 50 μJ

在 343 nm 波长下

• 典型最大输出功率：10 W

• 典型最大单脉冲能量：> 25 μJ

其他性能参数

• FemtoLux HE 型号最高单脉冲输出能量可达 1 mJ

• Burst（脉冲串）模式下最高可达 2 mJ

• 脉冲宽度：< 400 fs – 1 ps

• 脉冲持续时间可扩展至 1 ns

• 重复频率：单发 – 最高 4 MHz（AOM 控制）

• 支持 MHz、GHz 以及 MHz+GHz 脉冲串模式

• 按需脉冲（Pulse-on-Demand, PoD），抖动低至 20 ns（峰-峰值）

• 长期功率稳定性 < 0.5% RMS（100 小时）

• 光束质量：M2 < 1.2

• 光束椭圆度：> 0.85

系统特点

• 零维护设计

• 干式冷却（无需用水）

• 电源与冷却单元集成在 4U 机架式机箱中

• 安装简单快捷

• 兼容 振镜扫描器（Galvo）、Polygon 多面扫描器以及 PSO 控制器

一种可靠且多功能的微加工装备

FemtoLux 从设计之初就以高可靠性、无缝集成以及全年 24/7/365 不间断、零维护运行为目标，并采用创新的“干式”冷却技术。

FemtoLux 飞秒激光器的脉冲持续时间可调范围为 <400 fs 至 1 ps，并可在AOM（声光调制器）控制下，在单发到 4 MHz的宽范围脉冲重复频率内运行。

在单脉冲工作模式下，其最大脉冲能量可达 1 mJ；在脉冲串（burst）模式下，能量甚至可达到 2 mJ，从而为不同材料提供更高的烧蚀速率和加工效率。

FemtoLux 的光束参数能够满足最严苛材料加工与微加工应用的需求。

创新的激光控制电子系统使 FemtoLux 可以通过外部控制器进行简单控制。这些控制器可运行在Windows、Linux 等不同平台上，并通过 REST API 指令进行通信。

这使得该激光器更易于集成，同时减少了将其集成到各类激光微加工设备中所需的时间和人力资源。

MFemtoLux 激光器材料加工样件

FTMC 和 Femtika友情提供.