Ekspla公司FemtoLux系列工业级飞秒激光器介绍（六）应用案例及参考文献

应用案例

玻璃
飞秒激光微加工技术将透明材料加工提升到了新的水平。
通过钻孔、切割和铣削等方式选择性去除材料，可以精确制造复杂结构。

聚合物
飞秒激光在聚合物加工中开辟了新的精密制造途径，可实现高精度、低热影响的材料去除，从而构建复杂结构。

金属
飞秒激光能够制造复杂形状和结构特征，同时还可实现黑/白标记及彩色标记，无需使用化学添加试剂。

其他材料
与传统方法相比，飞秒激光由于脉冲持续时间极短，具有更高的加工精度。
可实现复杂三维结构及非常规形状的加工。

GHz 脉冲串模式玻璃铣削
利用配备 GHz 脉冲串技术的工业飞秒激光器（FemtoLux）进行玻璃加工。
该技术通过将高能单脉冲分裂为多个脉冲，从而提高加工效率（吞吐量）。

激光诱导选择性表面活化（SSAIL）
SSAIL 是由 Center for Physical Sciences and Technology 与 Akonner 联合开发的一项新技术，可直接在介电材料上书写电子电路。

玻璃通孔（TGV）制造
在玻璃基板中形成高深宽比孔在半导体领域日益重要。借助飞秒激光，可以实现低锥度，高深宽比，高质量孔加工（低崩边、无裂纹、孔壁光滑）

镍钛合金支架切割

飞秒激光在镍钛合金支架切割中具有明显优势，这是医疗领域中的关键应用。其特点包括：

• 超短脉冲 → 更高加工质量

• 边缘光滑

• 毛刺极少

• 热影响区极小

这种高精度对于制造具有复杂结构和严格尺寸要求的医疗支架至关重要。

微透镜阵列的混合激光加工

通过混合激光加工方法制造微透镜阵列。结合脉冲串模式（burst mode）自下而上铣削（bottom-up milling）

参考文献：

TGVs formation FemtoLux

Formation of through-glass vias (TGVs) in glass substrates using femtos econd laser operating in MHz/GHz burst mode

D. Andriukaitis, V. Stankevi?, E. Ka?ukauskas, and P. Ge?ys, in Lasers in Manufacturing Conference 2025, (WLT, 2025).

FemtoLux

In Transition from Battlefield to Industry, Dry Laser Cooling Makes a Splash

L. ūkanis, D. Andriukaitis, L. Rimgaila, and J. Burnett, Photonics Spectra 59 (11), 43-48 (2025).

Femtosecond Applications Glass Processing Material Processing Micromachining Scribing FemtoLux

Polarization-Dependent Laser-Assisted Cutting of Glass Using a Nondiffractive Beam in the MHz Burst Regime

J. Dudutis, A. Kondratas, and P. Ge?ys, ACS Photonics 12 (7), 3706-3716 (2025). DOI: 10.1021/acsphotonics.5c00679.

Ablation Femtosecond Applications Glass Processing Material Processing Micromachining FemtoLux

Comparative analysis of microlens array formation in fused silica glass by laser: Femtosecond versus picosecond pulses

L. Zubauskas, E. Markauskas, A. Vy?niauskas, V. Stankevi?, and P. Ge?ys, Journal of Science: Advanced Materials and Devices 9 (4), 100804 (2024). DOI: 10.1016/j.jsamd.2024.100804.

Ablation FemtoLux

The ultrafast burst laser ablation of metals: Speed and quality come together

A. ?emaitis, U. Gudauskyt?, S. Steponavi?iūt?, P. Ge?ys, and M. Gedvilas, Optics & Laser Technology 180, 111458 (2024). DOI: 10.1016/j.optlastec.2024.111458.

Surface Structuring FemtoLux

Ultrashort Pulse Bursts for Surface Laser Polishing

S. Steponavi?iūt?, P. Ge?ys, G. Ra?iukaitis, M. Gedvilas, and A. ?emaitis, in Optics, Photonics and Lasers OPAL’ 2024 Conference Proceedings, S. Y. Yurish, ed. (IFSA Publishing, 2024), pp. 44.

Cutting Femtosecond Applications Glass Processing FemtoLux

Femtosecond Laser Cutting of 110–550 μm Thickness Borosilicate Glass in Ambient Air and Water

E. Markauskas, L. Zubauskas, G. Ra?iukaitis, and P. Ge?ys, Micromachines 14 (1) (2023). DOI: 10.3390/mi14010176.

Ablation Femtosecond Applications FemtoLux

GaAs ablation with ultrashort laser pulses in ambient air and water environments

E. Markauskas, L. Zubauskas, A. Naujokaitis, B. ?echavi?ius, M. Talaikis, G. Niaura et al., Journal of Applied Physics 133 (23), 235102 (2023). DOI: 10.1063/5.0152173.

Nanoparticles Generation FemtoLux

Laser-generated nanoparticles from Fe-based metallic glass in water and its amorphization control by pulsed laser processing

S. Liang, M. E. R. Reusmann, K. Loza, S. Zerebecki, L. Zhang, Z. Jia et al., Materials Today Chemistry 30, 101544 (2023). DOI: 10.1016/j.mtchem.2023.101544.

FemtoLux

Versatile ultrashort pulse laser tunable up to nanosecond range

T. Bartulevi?ius, M. Lipnickas, K. Madeikis, R. Burokas, and A. Michailovas, in Solid State Lasers XXXII: Technology and Devices, W. A. Clarkson, and R. K. Shori, eds. (SPIE, 2023), pp. 1239904. DOI: 10.1117/12.2649867.

以上为部分参考文献。更多文献，请访问：

https://ekspla.com/products/industrial-femtosecond-laser-femtolux/#publications

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